潜力巨大的微技术世界-斯伦贝谢.PDF

潜力巨大的微技术世界 20世纪80年代，在集成电路技术的基础上诞生了世界首套微 机电和微流体系统。从那时起，微技术领域的发展可谓日新月异。如 今，微技术已在环境条件极为复杂的油田领域得到广泛应用。 Dan E. Angelescu 在将来，只要您稍加留意就会注 米和微米领域之间是介观器件的世界， Christopher Harrison Ronald van Hal 意到将电子和机械元件融为一体的诸 在这里，量子效应和经典效应共同发挥 Joyce Wong 如传感器和执行器等小型装置器件随 着举足轻重的作用。 美国马萨诸塞州Cambridge 处可见。今天，这些产品已成为汽车、 多数MEMS 器件由硅基微电子装 Eric Donzier 医疗及消费电子等领域不可缺少的一 置和微电机组成，硅基微电子装置的功 Olivier Vancauwenberghe 部分。 能相当于系统大脑，而微电机则相当于 法国Elancourt 电子技术的发展历程向人们展示 系统的眼睛和四肢。这些器件以多种方 Anthony R. H. Goodwin 了产品小型化的诸多优点。20 世纪初 式对周围环境进行探测和控制。传感器 美国得克萨斯州Sugar Land 的真空管到了20 世纪50 年代被晶体管 能够探测热量、机械、化学及光学变化， 取代，而到了60 年代晶体管又被集成 而执行器能够运动至目标位置，对其周 Maria Manrique 英国剑桥 电路取代。目前人们广泛使用的微处 围环境中的各种元件进行测量和调节。 理器诞生于1971年，它们能够以极高的 一般情况下，微流体装置能够对体 Yu-Chong Tai 加利福尼亚理工学院 速度进行运算。今天，随着价格的下 积极其微小（微升或纳升）的流体进行 美国加利福尼亚州Pasadena 降，具有超大内存的个人计算机已进 控制以精确引导流体流动方向，并测量 入普通消费者家庭。科研人员和制造 流体性质和执行其它众多任务。微流体 在编写本文过程中得到以下人员的帮助，谨表谢 业者目前也期盼着微机电系统 装置的开发始于20 世纪90 年代初。它 意：英国剑桥的Andrew Meredith ；美国马萨诸塞 （MEMS）和微流体技术领域能取得同 们被置于硅、玻璃、金属、塑料或合成 州Cambridge 的Vincent Loccisano 和Ram Shenoy。同 [1] 时感谢马萨诸塞州Cambridge 的Philip Dryden ，Gale 样巨大惊人的进步 。 橡胶内，其许多元件和泵、阀、混合器、 Gustavson ，Bhavani Raghuraman ，Robert Schroeder 和 那么到底多小才算微小呢？美国 过滤器及分离器等宏流体装置的元件相 Jagdish Shah 在Diver 仪器开发过程中所做的贡献。 [3] 这些仪器用于地下水和地表水水质参数的长期监 国家