第二章光检基本原则.docVIP

PAGE PAGE 7 第二章 光电检测系统设计的基本原则 九个基本原则： 一．匹配原则（光电匹配、精度匹配）见P12 1.光电匹配 光电匹配是系统设计中必须考虑的问题。其内容主要包括 1）根据被测目标的辐射特性，合理选择满足目标光谱特性的光源（包括光源的光谱特性、功率、寿命、灯丝形状等）。 2）根据被测信号的光谱特性选择与之匹配的光电探测器（包括深测器的频率响应，光谱响应、灵敏度、暗电流、探测器形状等）。 3)根据光源、探测器特性和总体要求设计与之匹配的光学系统（照明系统和光电变换光学系统）。其中包括光学元件材料的 选取，膜系设计等。 光源 光源 目标 光学系统 探测器 2.精度匹配 在光电系统的精度设计中，光、机、电各部分的精度一般应该和系统总精度相匹配，而系统总精度也应与使用要求相适应，无限制的提高系统的总精度不仅对检测无益，而且还会导致成本提高，稳定性下降。根据实际设计经验，拟出以下几条作为设计时参考： 1）．测量系统的总精度值可根据被测工件的公差值和同一尺寸被测量的次数或成品筛选的合格率要求确定。一般为：测量系统总精度应为被测工件的公差值的1/2~1/10； 2).仪器的分辨率（或最小脉冲当量）一般取仪器总精度的1/2~1/5； 3).在精度设计时，仪器的总系统误差一般为仪器总误差的1/3。 例：被测件的公差=|0.01-(-0.01)|=0.02mm 则光电检测系统总精度=(1/2~1/10)×0.02=0.01~0.00 仪器的总系统误差=(0.01~0.002)×1/3 mm 二．阿贝比较原则 三．运动学原则 原动件数目等于自由度数，按自由度确定约束数。 四．统一基面原则（设计、工艺、测量基准统一） 五．最小变形原则 使仪器变形小（刚度大、热稳定性好），补偿变形。 六．经济原则 社会价值V=F/C F：产品功能；C：成本。 要求：功能多、成本低，则价值高。 七．系列化原则 八．通用化原则 九．标准化原则 §2-1 阿贝比较原则 一．结构型式对测量误差的影响 并联型式 导轨无误差,则没影响 导轨有误差时: 瞄准显微镜 瞄准显微镜 M1 M2 悬臂支架 X Y Z a 标准件 被测件 图1 并联型式 图1 并联型式 = 1 \* GB3 ①. 悬臂支架沿X, Y, Z轴平移,两个显微镜作同样运动,则对测量无影响。(导轨有间隙的情况) = 2 \* GB3 ②. 悬臂支架 绕X、Z轴转动, 则对测量无影响。(绕X轴转动,离焦,不影响测量; 绕Z轴转动, 显微镜在X方向移动量相同, 不影响测量) = 3 \* GB3 ③. 绕Y轴转动, 对测量有影响 Y Y X Z φ M1 M2 M1′ M2′ ｝ δ1 标准件轴线 被测件轴线 a a δ1=a·tgφ =a·(φ+1/3φ3+2/15φ5+…) ≈a·φ (一阶误差, 即阿贝误差) 例: 令a=100mm φ=10″ 秒化弧度系数: ρ=206265≈2×105 则δ1=a·10″/ρ=5μm 2. 串联型式 (缺点:体积大) 被测件 被测件 标准件 M1 M2 X Y Z C 图2 串联型式 = 1 \* GB3 ①. 悬臂支架沿X, Y, Z轴平移,两个显微镜作同样运动,则对测量无影响。(导轨有间隙的情况) = 2 \* GB3 ②.悬臂支架绕X轴转动, 显微镜离焦,不影响测量。 = 3 \* GB3 ③. 绕Y轴转动, 对测量有影响 δ2′c δ2′ c Y c φ M2’ M1′ M2 X Z δ2′=C－C·cosφ =C(1－ cosφ) =C〔1－(1－φ2/2！+φ4/4！－……)]≈C·φ2/2 瞄准cφ 瞄准 c φ M2′ M1 M1′ Z Y × H c δ2〞 瞄准 X O δ2〞=OH－C =C/cosφ－C =C(secφ－1) =C(1+φ2/2！+……－1) ≈C·φ2/2 串联型式,绕Y, Z轴转动引起的总误差δ2=δ2′+δ2〞=Cφ2,为二阶误差。在φ很小时, δ2比δ1小很多(见表2—1)。 表2-1 不同φ角时并联与串联安装的误差比 5° 2° 1° 30ˊ 10ˊ 1ˊ 30 10 1 δ1/δ2 2.3 5.7 11.5 23 69 688 1330 4160 40000 3.横向移动式 绕Y, Z轴转动的测误差(类似于δ2′) δY=δZ= C·φ2/2 HC工件M2 H C 工件 M2 M1 X Y