DLC膜在不同金属基材上的摩擦特性与其沉积系统的设计.pdfVIP

摘要 摘要 针对DLC薄膜在精密零部件中的应用，研究了在常温条件下沉积高界面强 度的DLC薄膜的技术，以提高DLC膜与金属基材之间的界面结合强度。在本 研究中，DLC薄膜通过自制的I讧。DC双电源CVD镀膜设备制备，并研究了其 沉积在不同金属基材上所表现出的摩擦特性。该镀膜设备为一个带有高低真空 测量装置及其辅助装置的超高真空系统。在该系统中，为能使O．2m3的真空室在 30min内达到极限真空l×10’7Pa，采用了抽速为1600L／S复合分子泵与抽速为 550L／S钛升华泵并联作为主泵，抽速为30L／S的旋片式机械泵串联复合分子泵 作为前级泵的抽气系统。自真空室出口至复合分子泵入口段的总流导为853L／S。 析了复合膜的破坏机理。在Ball．on．Disk摩擦试验机上，测定了摩擦系数、局部 磨损面积以及磨损深度，并评价了其摩擦特性。实验结果表明：在常温条件下， 将DLC膜直接沉积在金属基材上，膜基之间的粘着性是非常弱的，并在基材与 薄膜之间出现了明显的裂纹；通过施加a．Si：H中间过渡层，界面处的结合强度 得到明显改善，在摩擦实验中，DLC膜被完全磨损，未发生剥离现象；摩擦系 数与摩擦副的材质有关，一般情况下，摩擦