GB/T 30901-2014高纯氟化铵溶液.pdf

ICS 71.060.50 _ ___ 02 OB 中华人民共和 国 国彖标准 GB/T 30901—2014 咼纯氟化钱溶液 High purity ammonium fluoride solution for industrial use 2014-07-08 发布 2014-12-01 实施 GB/T 30901—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学丁业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC 63/SC 1)归口。 本标准起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化丁有限公司、鹰鹏集团/宣城亨 泰化工科技有限公司 、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、中海油天津化T研究设计院 、国家 无机盐产品质量监督检验中心。 本标准主要起草人：田志扬、赵晓亚、万群平、林益兴、张红英、周鹏鹏、郭凤鑫、王芳. T GB/T 30901—2014 高纯氟化钱溶液 1范围 本标准规定了高纯氟化钱溶液的分级、要求、试验方法、检验规 、标志、标签、包装、运输、贮存和 安全。 本标准适用于高纯氟化鞍溶液 。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀 刻等行业。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191—2008包装储运图示标志 GB/T 6678化T产品采样总 GB/T 6680液体化T产品采样通 GB/T 6682-2008分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 23769-2009无机化T产品 水溶液中pH值测定通用方法 GB/T 23770—2009液体无机化T-产品色度测定通用方法 HG/T 3696.1 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第1部分:标准滴定溶 液的制备 HG/T 3696.2无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第2部分:杂质标准溶 液的制备 HG/T 3696.3无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第3部分:制剂及制品 的制备 3分子式和相对分子质量 分子式:nh4fo 相对分子质量：37.04（按2011年国际相对原子质量）。 4分级 高纯氟化镀溶液按用途分为两个等级： -UP-S级：主要用于线宽为0.2 hi以上集成电路的清洗与蚀刻； -UP-SS级：主要用于线宽为0.09 〜0.2 卩m集成电路的清洗与蚀刻。 5要求 5.1外观:无色透明液体。