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GB T 31092-2014_蓝宝石单晶晶锭_高清版_可检索.pdf 24页

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ICS 29.045 H 83 OB 中华人 民共和 国 国彖标准 GB/T 31092—2014 蓝宝石单晶晶锭 Monocrystalline sapphire ingot 2014-12-22 发布 2015-09-01 实施 GB/T 31092—2014 目 次 前言m i范围1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 要求1 5 检验方法 3 6 检验规则 4 7标志、包装、运输、贮存和质量证明书5 8 订货单(或合同)内容 6 附录A (规范性附录 )总杂质含量的测定方法 7 附录B (规范性附录 )位错密度测试方法9 附录C (规范性附录 )双晶摇摆Ittl线的半峰宽值的检测方法12 附录D (规范性附录 )局部光散射体、气泡、包裹物及散射颗粒检测方法15 附录E (规范性附录 )镶嵌、李晶的检测方法 18 附录F (规范性附录 )透光率检测方法 20 T GB/T 31092—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、常州亿晶 光电科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司、新疆紫晶光电技术有限公司。 本标准主要起草人:刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、吴剑波、蔡金荣、赵新俭. m GB/T 31092—2014 蓝宝石单晶晶锭 1范围 本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书、 订货单 (或合同)内容。 本标准适用于蓝宝石单晶晶锭,产品可用于制造氮化稼外延薄膜及其他用途的蓝宝石单晶衬底材 料 (以下简称晶锭)。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 GB/T 1555半导体单晶晶向测定方法 GB/T 2828.1计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限 (AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T 14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 蓝宝石 sapphire

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