微机电系统的功能检测.docVIP

班级：2011级机汽学院硕士3班 姓名：卢嘉辉 学号：201121002847 微机电系统的性能检测及其应用 一、微机电系统概述 微机电系统是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微执行器、微能源等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。以微机械为研究对象的微机电系统涉及多种学科，主要有微机械学、微电子学、自动控制、物理、化学、生物以及材料科学等基本内容，是一个多学科、高技术的边缘学科。 简单讲，微机电系统是一种集成了微电子电路和微机械致动器的微小器件，它可根据电路信息的指令，控制致动器实现机械操作=还可以利用传感器接收外部信息，将转换出来的信号经电路处理