进出超净间基本操作.PPT

微纳中心超净间培训 超净间就是达到一定标准的洁净度的实验室，是微纳加工的重要平台。 对于洁净度的标准，美联邦的209E标准的定义是将“室内悬浮粒子浓度控制在一定水平的房间”； 洁净室分级：习惯上的称呼为一级—-十级-百级—千级—万级---十万级（美国209E标准），这些级别的划分是由房间内空气的洁净度（空内悬浮粒子的浓度）来实现的。百级、千级、万级定义单位立英尺空气含直径于0.5μm尘埃粒数。 超净间概述 超净间工作原理 洁净度不达标的后果 超净间内的主要污染源是人，包括人体衣服表面附着物、纤维、体表脱落物（皮屑、头屑、唾沫）、走路扬起的尘埃等。有数据显示：人员着不同的衣服和各种动作都会对无尘室的空气质量产生影响，见下表： 不同衣着、不同动作时的人体产尘 超净间污染源控制 门禁2 门禁3 门禁1 C405 C406 10万级内走廊 缓冲走廊 千级区 不锈钢柜子 新旧鞋柜 Research Center for Micro/Nano System 外部挂衣架 (门禁1外走廊) 10万级走廊 C409 C412 C410 C407 C411 C414 超净间平面布局图 鞋柜区 更衣室 净化间 Filter Filter Filter 鞋柜 净化服存贮架 风淋室 净化间桌子，工作台，椅子，货架，推车及设备 超净间结构图