GB/T 35049-2018真空技术　四极质谱检漏方法.pdf

ICS 23.160 J 78 £3© 中华人民共和国国家标准 GB/T 35049—2018 真空技术 四极质谱检漏方法 Vacuum technology —Leak testing method by quadrupole mass spectrometer 2018-05-14 发布 2018-12-01 实施 发布 GB/T 35049—2018 目 次 冃U有 I 引言 n i范围 i 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 一般要求 3 4.1 环境要求 3 4.2设备要求 3 4.3 示踪气体纯度 3 4.4人员资格 3 4.5 示踪气体选择 3 4.6质量数选择 3 4.7仪器校准 4 5 检漏方法 4 5.1 喷吹法 4 5.2真空室法 8 5.3 四极质谱非真空累积法 11 5.4吸枪法 15 6 检漏文件 18 6.1 检漏记录