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导纳轨迹沿顺时针方向追迹 薄 膜 光 学——基础理论 1/2λ厚 度单层MgF2在K9玻璃上的导纳轨迹 麦克劳得导纳图解技术简介 薄 膜 光 学——基础理论 麦克劳得导纳图解技术简介 HLH导纳轨迹 薄 膜 光 学——基础理论 双层增透膜的导纳轨迹 麦克劳得导纳图解技术简介 H:ZrO2(2.07) L:SiO2(1.46) HL H1L H:Y2O3(1.79) L:SiO2(1.46) 薄 膜 光 学——典型膜系 一. 增透膜（减反射膜） 我们都知道当光线从折射率为n0的介质射入折射率为n1的另一介质时在两介质的分界面上就会产生光的反射, 如果介质没有吸收，分界面是一光学表面，光线又是垂直入射，则反射率R为： 透过率损失，像的亮度降低，影响作用距离等； 杂光影响，像的反衬度降低； 薄 膜 光 学——典型膜系 目前已有很多不同类型的增透膜可供利用，以满足技术光学领域的极大部分需要。可是复杂的光学系统和激光光学，对减反射性能往往有特殊严格的要求。例如，大功率激光系统要求某些元件有极低的表面反射，以避免敏感元件受到不需要的反射的破坏，并且对于薄膜往往有激光阈值的要求。此外，宽带增透膜可以提高象质量、色平衡和作用距离，而使系统的全部性能增强，因此，生产实际的需要促使了减反射膜的不断发展。 设计减反膜并没有完整的系统的方法，简捷的途径是用矢量法，并通过试行法得到较满意的结构，然后进行数值计算作精确校核，以消除矢量法所固有的近似影响。 一.减反射膜（增透膜） 薄 膜 光 学——基础理论 矢量法 对于层数较少的减反射膜可以用矢量法作近似计算和设计，这种方法有两个前提： 膜层没有吸收； 在确定多层膜的特性时只考虑入射波在每 个界面的单次反射； 薄 膜 光 学——基础理论 矢量法 为了避免在作矢量图时方向混乱，我们可以规定： 1． 矢量的模r1, r2, r3, r4…，正值为指向坐标原点负 值为离开原点． 2． 矢量之间的夹角仅决定于膜层的光学厚度和所考察 的波长(即决定于膜层的位相厚度)按逆时针方向旋转。界 面上的位相跃变已经包含在振幅反射系数的符号中，不必另作考虑。 薄 膜 光 学——典型膜系 1.1 单层增透膜 单层增透膜是减少界面反射的最简单途径，如右图用矢量法分析： 从矢量图上可以看到，合振幅矢量r随着r1和2之间的夹角2δ而变化合矢量端点的轨迹为一园周。 当膜层的光学厚度为某一波长的四分之一时，则两个矢量的方向完全相反。 薄 膜 光 学——典型膜系 1.1 单层增透膜 矢量法用来分析单层薄膜情况： 可见当厚度为某一波长1/4，并且r1=r2时剩余反射为零： 薄 膜 光 学——典型膜系 1.1 单层增透膜 运用矩阵法分析1/4波长厚度时的情况： 薄 膜 光 学——典型膜系 1.1 单层增透膜 薄 膜 光 学——典型膜系 1.1 单层增透膜 单层增透膜的出现，在历史上是一个重大的进展，直至今天仍广泛地用来满足一些简单的用途。但是它存在着两个主要的缺陷，首光对大多数应用来说剩余反射还显得太高，此外，从未镀膜表面反射的光线，在色彩上仍保持中性而从镀膜表面反射的光线就不然，破坏了色的平衔．其结果是不可能作出良好的色彩还原，作为变焦距镜头超广角镜头，大相对孔径等新型透镜系统中的镀层，那更是不能符合要求。 有两个途径可以提高增透效果： 采用变折射率的所谓非均匀膜，它的折射率随着厚度的增加呈连续的变化； 采用几层折射率不同的均匀薄膜构成多层增透膜； 薄 膜 光 学——典型膜系 1.2 双层增透膜 对于单层氟化镁膜来说冕牌玻璃的折射率是太低了。为此，我们可以在玻璃基片上先镀一层1/4波长厚的、折射率为n2的薄膜，这时对于来说薄膜和基片组合的系统可以用一折射率为Y=N23/n3的假想基片来等价。显然，当n2n3时，有Y＞n3．也就是说，在玻璃基片上先镀一层高折射率的λ0／4波长厚的膜层后，基片的折射率好象从n3提高到Y=N23/n3 ，然后镀上λ0／4波长厚的氟化镁膜层就能起到更好的增透效果。 构成λ0／4- λ0／4型增透膜，若使中心波长的反射率为零，应满足： 薄 膜 光 学——基础理论 双层增透膜的导纳轨迹 麦克劳得导纳图解技术简介 H:ZrO2(2.07) L:SiO2(1.46) HL H1L H:Y2O3(1.79) L:SiO2(1.46) * * 薄 膜 光 学——基础理论 本此课的主要内容 矢量法 对称膜系的等效折射率 导纳图解法简介 薄 膜 光 学——基础理论