毕业设计（论文）《电子束表面改性处理的》.doc

第一章 前言 1.1 引言 随着航空、航天、电子等尖端科技的不断发展，人们对金属表面性能的要求越来越高，传统的金属材料表面改性方法（如渗碳，渗氮，表面高频处理和离子氮化等等）对一些结构比较复杂或有性能特殊要求的工件就显得有些无力了，三束（离子束、电子束、激光束）表面改性作为新兴的表面改性方法，弥补了传统表面改性方法的不足，并得到迅速发展。其中，可以产生低能～40KeV、强流～10KA和脉冲～1μS的强流脉冲电子束（HCPEB）装置于上个世纪九十年代中期研制成功，并在材料表面改性方面的应用研究过程中引起广泛关注。 1.2电子束技术概述 联邦德国、法国在上世纪40-50年代已成功地研制出多种用途电子束加工机和电子束焊接机。电子束于上世纪50年代中期应用于热加工。当初只是利用电子束在真空的条件下能加热材料的特征来进行铁锡合金制的原子核燃料棒容器的焊接和活性金属的溶解[12]。以后由于电子束的功率密度可提高到106W/cm2，因而可进行深熔，并能高效率地实现热影响区小、变形小的焊接。除此之外，还确立了提高电子束输出功率、延长电子枪寿命、局部或连续形成真空、用计算机控制加工参数等电子束加工的基本技术。并且已在汽车、宇航、重型机械等工业领域中得到应用，但作为加工的方法来说，大体限于焊接应用。1957年法国用电子束焊机焊接原子能反应堆燃料元件镐包套封口成功。上世纪60年代初，电子束打孔、铣切、焊接、熔炼、镀膜等技术相继开展，并在工业生产中推广应用，促进了先进技术的发展[40]。上世纪60年代开始，电子束加工技术又在半导体加工领域中得到应用，并应用到集成电路的加工制造中，但这些应用都不是大功率的[41~43]。 电子束表面改性技术是上世纪70年代才发展起来的新技术。电子束表面改性处理包括金属材料的表面淬火、表面合金化、表面清洗、熔覆 以及半导体材料的退火和掺杂等。其中又以电子束淬火应用最为广泛。表面处理的实质是通过特殊的工艺方法，或直接改变原来表面的组织和成分，或在原来表面上复合一个具有特殊性能的表面，从而达到表面改性和提高表面性能的目的。目前，电子束表面非晶态处理及冲击淬火等先进处理工艺的研究也已经在世界各国广泛展开[44]。 电子束具有高能量密度、易于控制和调节等优点，电子束处理是一种选择性区域处理其工作过程类似于电子束焊接。它具有高能量密度，能量非常集中，电子束的功率密度（即单位时间输入单位面积材料的能量）可高达 107 W/cm2。高速运动的电子具有波的性质。从电子枪阴极表面发射的电子，经加速后直接轰击到需要处理的工件表面，瞬间的能量转换和沉积使“表面层”（几个?m到几个mm）温度急剧升高，而“基体”仍保持“冷态”，电子束结束照射时，加热区域的热量迅速向基体扩散，表面层温度急剧下降，从而在表面改性层中形成特定的加热、冷却过程，类似于常见的热处理过程。除此之外，快速的升温冷却过程中形成的巨大温度差会在改性过程中同步造成热应力的产生，并形成一定的应力分布状态。以上述过程为基础，通过控制入射电子束的形式、能量幅值及空间分布，同时附以必要合金元素（气体或固体）的添加，就构成了电子束表面改性处理的独特工艺。强流脉冲电子束作为一种新的电子束处理技术已成为国外科研机构日益重视的一项表面改性技术。 1.3 电子束表面改性处理的特点 1.3.1 与传统工艺相比较 电子束工艺是一种较为先进的表面改性技术，与传统的表面处理工艺相比，它具有以下优点[50]： 1． 工件变形小。因为电子束表面改性处理过程中，只对工件的表面局部区域进行升降温处理，整个零件并未进入高温状态，输入零件的总能量少，因此几乎不可能产生变形，尤其是对于大型零件更是如此。所以，对于精密加工之后的零件特别适合，可大大减少精加工的研磨留量。 2．加工效率较高。电子束表面处理局部能量密度高，但处理时间短，加工时电热转化效率很高。 3．处理方式灵活。电子束的输出能量密度及其在工件表面的处理位置均可灵活、准确的调节。因而表面改性的部位和处理层的深度均可得到精确控制。 4．清洁。由于加工处理在真空室中进行，氧气、氮气所产生的有害影响极小，可以获得非常洁净的表面处理层。另外，处理过程中不需要油、水、盐等媒质，所以不会污染处理的零件和操作环境。 5．重复性好。因为电子束的总能量与功率密度的控制精度很高，扫描范围与处理位置可准确定位，所以可保证批量处理零件时的良好重复性。 除此之外，采用电子束表面改性技术还可以在客观上带来节省贵重金属的使用、简化生产工序及周转时间等可观的经济效益。 1.3.2 与激光处理相比较 电子束表面改性处理与激光加热处理在能量密度、工艺控制以及作用原理等方面有许多相同之处，例如都可以进行金属表面淬火、表面合金化处理、退火等，都可以进行局部处理、