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新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算.PDFVIP

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  • 2019-07-06 发布于天津
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新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算.PDF

    　　　　　　　　 29 　3 　　　　　　　　　　　　 　　　　　　 614 CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 2008 5、6 　 李洪波　孙丽丽　吴国松　代　伟　周　毅　汪爱英＊ (　　315201) Simulation of Magnetic Field Distribution in Doubly-Bent Filter Cathode of Vacuum Arc Film Growth Setup ＊ Li Hongbo, Sun Lili, Wu Guosong, Dai Wei, Zhou Yi,Wang A

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