第6章压电式传感器课件.pptVIP

压电式传感器的工作原理压电式传感器的等效电路和测量电路压电式传感器的应用:了解压电式测力传感器、压电式加速度传感器 要求掌握压电式传感器的工作原理，能够分析测量电路原理，熟悉压电式传感器应用的原理分析 可见，压电传感器的绝缘电阻Ra与前置放大器的输入电阻Ri相并联。为保证传感器和测试系统有一定的低频或准静态响应，要求压电传感器绝缘电阻应保待在1013Ω以上，才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要求。与上相适应，测试系统则应有较大的时间常数，亦即前置放大器要有相当高的输入阻抗，否则传感器的信号电荷将通过输入电路泄漏，即产生测量误差。 由于压电式传感器的输出电信号很微弱，通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，经过阻抗交换以后，方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。(其中，测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器。） (1)并联使用： 输出电容为： 输出电压为： 输出电荷为： 输出电荷大，电荷灵敏度提高； 本身电容大， 时间常数大，适宜用在测量慢变信号的场合。 (2)串联使用： 输出电容为： 输出电压为： 输出电荷为： 输出电压大，电压灵敏度提高，本身电容小，适宜用于以电压作输出信号，并且测量电路输入阻抗很高的场合。  压电式传感器在测量低压力时线性度不好，因此，需要加入预加力，称为预载，以消除低压力使用中的非线性外。 3、压电元件的预载 6.2 压电式传感器测量电路 当压电元件受力时，在两个相应极面上出现等值的正负电荷，因此，可将压电元件看作是一个电荷源与压电晶体等效电容相并联的电路。 6.2.1 压电式传感器的等效电路 由于两个极板面上分别聚集了不同极性的正负电荷，，板间就会呈现出一定的电压，两个极板间的电压为： 因此，压电传感器还可以等效为电压源Ua和一个电容器Ca 的串联电路，如图(b)。 压电元件在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，如下图6-9所示。因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻R i , 输入电容C i以及压电元件的泄漏电阻Ra。 A 压电元件 前置放大器 测量电路 图6-9 压电传感器实际连接电路 3、实际等效电路 连接电缆 图6-10 压电传感器的实际等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 这样，压电传感器在测量系统中的实际等效电路， 如图6 -10所示。 U a C a R a C c R i C i q R a C c R i C i C a ( a ) ( b ) 连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻R i , 输入电容C i以及压电元件的泄漏电阻Ra U a C a R a C c R i C i q R a C c R i C i C a ( a ) ( b ) 前置放大器电路有两种形式：一是用电阻反馈的电压放大器，其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比；另一种是用带电容板反馈的电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。由于电荷放大器电路的电缆长度变化的影响不大，几乎可以忽略不计，故而电荷放大器应用日益广泛。 6.2.2 压电式传感器的测量电路 前置放大器的作用：一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出；二是放大传感器输出的微弱电信号。 1. 电压放大器 图6-11（a）、(b）是电压放大器电路原理图及其等效电路。 图 6-11 电压放大器电路原理及其等效电路图 （a） 电压放大器电路; （b） 等效电路 （a） （b） A U0 Ci Ri C e Ra Ua Ca Ui C R Ca Ua U0 Ui A 式中： Um——压电元件输出电压幅值，Um= dFm/Ca； Fm——作用力的幅值；d——压电系数；?—作用动态力的变化频率。 图中，等效电阻 若压电元件受正弦力f=Fm sinωt的作用，则压电元件上产生的电荷为： 等效电容C= Cc+Ci 压电元件上产生的电压为： C R Ca Ua U0 Ui A 图6-11(b) 求放大器输入端电压Ui： . 设Z为R和C并联后的阻抗，则 Ca C R Ua U0 Ui A 放大器输入端电压Ui： . Z Ca Ua U0 Ui A (1) (2) Ui的幅值Uim为 . 输入电压Ui和作用力f之间相位差为 在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即ω(Ca+Cc+Ci) R1，那么，输入电压幅值Uim为 上式表明理想情况时前置放大器输入电压Uim与频率无关，一般在