光电测试技术-第5章-激光干涉测试技术(1／6).pptVIP

第5章 激光干涉测试技术 光电测试技术  哈尔滨工业大学 第5章 激光干涉测试技术 * * 概述 由于科学技术的进步，干涉测量技术已经得到相当广泛的应用。一方面因为微电子、微机械、微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大量程的要求，其它方法难以胜任；另一方面因为当代干涉测量技术本身具有灵敏度高、量程大、可以适合恶劣环境、光波和米定义联系而容易溯源等特点，因而在现代工业中应用非常广泛。 目前已经有许多著名厂家的成熟的干涉仪产品，覆盖了相当大的应用范围。但是，干涉仪毕竟不是简单的工具，仍有许多新的应用领域有待开发和研究。因此，需要更加深入的学习。 * * 概述 现代干涉技术是物理学理论和当代技术有机结合的产物。激光、光电探测技术和信号处理技术对于干涉技术的发展起着重要的作用。 历史进程： 17世纪后半叶，玻意耳(Boyle)和胡克(Hooke)独立地观察了两块玻璃板接触时出现的彩色条纹（后被称作牛顿环），人类从此开始注意到了干涉现象。 1690年，惠更斯出版《论光》，提出“波动”说。 1704年，牛顿出版《光学》，提出了“微粒”说。 1801年，托马斯·杨(Thomas Young)完成了著名的杨氏双缝实验，人们可以有计划、有目的地控制干涉现象。 * * 概述 历史进程： 1818年，阿喇果和菲涅尔发现两个正交的偏振光不能干涉，导致杨和菲涅尔得出光是横波的结论。 1860年，麦克斯韦(C.Maxwell)的电磁场理论为干涉技术奠定了坚实的理论基础。 1881年，迈克尔逊(A.Michelson)设计了著名的干涉实验来测量“以太”漂移，导致“以太”说的破灭和相对论的诞生。他还首次用干涉仪以镉红谱线与国际米原器作比对，导致后来用光波长定义“米”。 1900年，普朗克（Max Planck）提出辐射的量子理论，成为近代物理学的起点。 * * 概述 历史进程： 1905年，爱因斯坦（Albert Einstein）提出相对论原理。 1924年，Louis de Broglie推导出de Broglie波方程，认为所有的运动粒子都具有相应的波长，为隧道显微镜、原子力显微镜的诞生做了理论准备。 1960年，梅曼(Maiman)研制成功第一台红宝石激光器，以及微电子技术和计算机技术的飞速发展，使光学干涉技术的发展进入了快速增长时期。 1982年，G.Binning和H.Rohrer研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，从此开始了干涉技术向纳米、亚纳米分辨率和准确度前进的新时代。 * * 概述 特点： 具有更高的测试灵敏度和准确度； 绝大部分的干涉测试都是非接触式的，不会对被测件带来表面损伤和附加误差； 较大的量程范围； 抗干扰能力强； 操作方便； 在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域获得广泛应用。 * * 概述 分类： 干涉测试技术 按光波 分光方式 按相干光束 传播路径 按用途 分振幅式 分波阵面式 共程干涉 非共程干涉 静态干涉 动态干涉 * * §5-1 激光干涉测试技术基础 1.1 干涉原理与干涉条件 1．干涉原理 光干涉的基础是光波的叠加原理。由波动光学知道，两束相干光波在空间某点相遇而产生的干涉条纹光强分布为： 位相差 两光束到达某点的光程差 满足 的光程差相同的点形成的亮线叫亮纹。 满足 的光程差相同的点形成的暗线叫暗纹，亮纹和暗纹组成干涉条纹。 其中m是干涉条纹的干涉级次。 * * §5-1 激光干涉测试技术基础 1.1 干涉原理与干涉条件 2．干涉条件 通常能够产生干涉的两列光波必须满足三个基本相干条件： 频率相同 振动方向相同 恒定的位相差 在实际应用中，有时需要有意识地破坏上述条件。比如在外差干涉测量技术中，在两束相干光波中引入一个小的频率差，引起干涉场中的干涉条纹不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由电路和计算机检出干涉场的位相差。 静态稳定干涉场的条件 * * §5-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 干涉条纹对比度可定义为 式中，Imax、Imin 分别为静态干涉场中光强的最大值和最小值，也可以理解为动态干涉场中某点的光强最大值和最小值。 当 Imin = 0时K＝1，对比度有最大值；而当 Imax= Imin时K＝0，条纹消失。在实际应用中，对比度一般都小于1。 对目视干涉仪可以认为：当K＞0.75时，对比度就算是好的；而当K＞0.5时，可以算是满意的；当K＝0.1时，条纹尚可辨认，但是已经相当困难的了。 对动态干涉测试系统，对条纹对比度的要求就比较低。 * * 由此得最大干涉级m＝λ/Δλ ，与此相应的尚能产生干涉条纹的两支相干光的最大光程差(或称光源的相干长度)为 §5-1 激光干涉测试