409-国内洁净室气流组织研究现状.pdfVIP

国内洁净室气流组织研究现状 1 1 华南理工大学 许晓 孟庆林 摘 要：洁净室高洁净度环境营造和高运行能耗一直是运营人员和科研工作者的关注 焦点，文献调研显示，优化气流组织是较少洁净室能耗的有效途径。本文调研国内近五年优 化洁净室气流组织研究的文献，从洁净室气流特性和影响洁净室气流组织的因素包括送回风 面积、送风速度、送回风口位置、送风形式、室内设备和局部气流组织优化等方面进行统计 和分析。提出以下四个观点：1）优化洁净室的气流组织要对气流组织影响较大因素调整； 2）动态洁净室气流组织优化研究更接近实际应用；3）洁净室建设前利用CFD 模拟优化能简 化建设后二次调整工作；4）局部气流优化其节能意义更大。 关键词：洁净室 气流组织 气流特性 局部气流优化 CFD 模拟 1.前言 [1] 洁净室是指空气悬浮粒子受控的房间 。洁净室除了对微尘或者菌落有控制外，一般 对温度、湿度、压力等都有较高要求，这导致洁净室的建设、运营以及维修的费用为普通 建筑的30~50 倍。 在电子工业洁