011新90660薄膜材料跟技术09级第5章薄膜表征.pptVIP

Month 00, 0000 Title of Presentation (Edit using View Menu Header and Footer) Thin Film Materials Technologies 薄膜材料与技术 材料科学与工程学院 2008? 西安理工大学 Xian University of Technology -*- 薄膜厚度及沉积率表征方法的主要分类： 5.1.1 气相原子密度法 一、测量原理 (如右图所示，与电离真空计类似)： 1、气相原子进入探头 ? 灯丝热电子轰击 ? 电离；2、电场作用下：电离出的电子→阳极、离子→阴极 (收集极)；3、收集极电流 Ii 和阳极电流 Ie 满足：Ii ? nIe 沉积速率 ( ) 满足： 膜厚 D 满足： 此处：n — 气相粒子密度； ? — 膜材料密度； a — 常数。 二、特点： 1、膜厚测量的相对误差 ≈ 10%；2、测量结果和蒸发源温度及残余气体气压有关 (分别影响 a 和 Ii )。 5 薄膜表征 5.1 薄膜的厚度/沉积速率 1、测量原理：调整线圈电流，使薄膜增重引起的重力力矩 和线圈所产生磁场与吸铁间的磁场力达到平衡，