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. . 材料分析方法·课程设计 材料分析测试方法 课程设计（论文） 题目：磁控测射含Zr类石墨镀层微观结构分析 学院材料科学与工程学院专业材料物理班级材物091学生赵燕学号3090101267指导教师陈迪春起止时间2011.12.26-2011.12.30 2011年 秋季 学期  材料分析方法·课程设计· 目 录 TOC \o 1-3 \h \u  30640 第一章 前言  1  1398 第二章 分析方法及仪器选择…………………………………………………….2  12052 2.1薄膜表面形貌分析方法及仪器选择……………………………………...2  2972 2.1.1原子力显微镜……………………………………………………….2 2.1.2透射电子显微镜……………………………………………………3 2.2 薄膜表面成分分析方法及仪器选择…………………………………4 2.2.1 X射线光电子能谱…………………………………………………4 2.2.2扫描电子显微镜………………………………