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X射线能量色散谱（EDS） x-ray energy dispersive spectrocopy（X射线波长色散谱（WDX）安装在扫描或透射电子显微镜上） 一、X射线能谱分析的基本原理 二、X射线能谱仪 三、利用X射线能谱对样品成分进行分析 四、X射线能谱仪的工作方式 五、X射线能谱分析的优点和缺点 光电子、荧光X射线及俄歇电子产生过程 一、X射线能谱分析的基本原理 利用一束聚焦到很细且被加速到5～30Kev的电子束，轰击用显微镜选定的待分析样品上的某个“点”，利用高能电子与固体物质相互作用时所激发出的特征X射线波长和强度的不同，来确定分析区域中的化学成分。 能方便地分析从4Be到92U之间的所有元素。 二、 X射线能谱仪 图1 X射线能谱仪 能谱仪的关键部件是Si(Li)检测器，它实际上是一个以Li 为施主杂质的n-i-p型二极管，其结构示意图如图2所示。 图2 Si(Li)检测器探头结构示意图 一个X射线的光子通过8～25?m的铍窗口进入探测器后会被Si原子所俘获， Si原子吸收了入射的X射线光子后先发射一个高能电子，当这个光电子在探测器中移动并发生非弹性散射时，就会产生电子—空穴对。此时，发射光电子后的Si原子处于高能激发态，它的能量以发射俄歇电子或Si的特征X射线的形式