成大化工HRFESEM-成大化工系.doc

PAGE PAGE 1 高解析場發射掃描式電子顯微鏡JSM6700 94.09.22儀器管理委員會修訂94.09.29系務會議通過管 94.09.22儀器管理委員會修訂 94.09.29系務會議通過 一、目的： 為維持本實驗室正常運作及發揮其最大功能，特訂定此管理辦法以供使用者依循。 二、儀器設備： 1.儀器中文名稱：高解析場發射掃描式電子顯微鏡 2.儀器英文名稱：HIGH RESOLUTION FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOPE 3.儀器英文簡稱：HR FE-SEM 4.儀器設備說明： 儀器購置日期：93年6月 儀器經費來源：成大微奈米中心 成大環資中心 成大育成中心 成大化工系 儀器設備管理維護單位：成大化工系 儀器放置地點：成大化工系館1F 93125室 儀器設備負責教授：陳炳宏教授 06-2757575-62695 儀器操作技術人員：陳菊英小姐 06-2757575-62609 儀器廠牌：JEOL 儀器型號：JSM-6700F 儀器主要規格： 解析度 1.0nm(15kV), 2.2nm(1kV) 倍率 ×25 to ×650,000 加速電壓 0.5kV to 30kV 探測電流 10-13A t0 2×10-9A 電子槍型式 冷陰極場發射式 樣品最大容許 直徑ψ25 mm × 高度10 mm 及時影像顯示 1280 × 1024 pixels 試片載台 試片移動範圍： X軸：70 mm Y軸：50 mm 旋轉：360° Y軸：1.5 mm to 25 mm 傾斜角度：-5 to +60° 主要附件： EDS： 廠牌/型號 OXFORD/INCA400 解析度 ≤ 133 ev 晶體偵測器 Si (Li) 元素偵測範圍 B5 ~ U92 三、儀器簡介： 本電腦化操作之高解析場發射掃描式電子顯微鏡，其特點為以冷場發射電子槍產生探測電流範圍較低及能量均一之電子束，適合熱敏感樣品之分析，並在低加速電壓下，亦可獲得高解析品質之影像。能提供金屬材料、電子材料及高分子材料等於高倍率下之二次電子影像(SEI)及背反電子影像(BEI)之表面型態觀察。本機台同時配置有能量分散光譜儀(EDS)能做元素成分之定性及半定量分析之工作。 四、服務項目： 1.SEM：樣本表面之觀察及照相。 2.EDS：原子序6以上之元素的全能譜，mapping及line profile。 五、機台開放時間： 開放時段：每天分為四個時段，其開放時間表如下所示： 第一操作時段 9：00～10：30 第二操作時段 10：30～12：00 第三操作時段 14：00～15：30 第四操作時段 15：30～17：00 開放時段 星期 9:00~10:30 10:30~12:00 14:00~15:30 15:30~17:00 星期一 化工系 化工系 化工系 化工系 星期二 開放 開放 開放 開放 星期三 化工系 化工系 環資中心 環資中心 星期四 開放 開放 開放 開放 星期五 開放 開放 機台維護 備註 1.星期一全天及星期三上午時段供化工系使用，星期三下午時段供環資中心使用，其他時段對外開放。 2.原則上12:00~14:00開放化工系自行操作 (資格限檢定合格者)。 六、申請使用辦法： 本機台之使用分為委託操作及自行操作兩方式。 1.預約方式 請上成大微奈米中心或化工系網站下載委託或自行操作表格(如附件一) (.tw/Documents/Instruments/JEM6700/JEM6700.htm)， 填寫後繳交至化工系HRSEM室技術員處。首次欲使用本儀器，請於事前先與技術人員接洽相關事宜。 非化工系委託與自行操作者，請兩星期前預約。 化工系委託與自行操作者，於每月底開放登記下月時段。 已完成預約,若欲取消,請於操作時間的24小時前通知，否則費用照計。 於預約時段內遲到半小時以上，則該預約視為放棄，由其他使用者替補，使用費照計。 2.樣品準備須知： 試片之製作由使用者自理。 樣品需乾燥，在真空中無揮發性。在電子束照射下會分解或釋放氣體之樣品，因有礙必要之真空維持，恕不受理。 如為非金屬、粉體試件，請先做蒸鍍及固定處理。　　 本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件 樣品台不外借，申請者可自行購買SEM載台，或提早前來準備黏製試片。 七、收費標準： 項 目 說 明 計 費 方 式 說 明 營利事業單位 學術研究單位 備註 委託操作 自行操作 SEM 900元/時 450元/時 300元/時 左列計費方式均未含管理費及營業稅26% Sputter Coater 250元/200秒 150元/200秒 100元/200秒+0.5元/杪 影像輸出 熱感紙列印（每張） 50