第3讲 电池工艺段介绍-制绒与湿法清洗.pptVIP

电池工艺段介绍 刘仁中 2014. 11.28 一、制绒与湿法清洗 海润光伏技术大讲堂第一期 培训受众：电池工艺工程师 培训地点：奥特斯维行政大会议室 培训时间：每周三、五下午1:30开始，时长2小时左右 预期达到的目标 太阳能电池基本知识：了解+掌握 电池线各道工艺：熟悉工艺+学习经验 电池诊断与分析：充分利用检测设备 电池技术专题：电池提升技术，包括高效电池技术 产品拓展：了解电池上下游 提纲 制绒的目的 去除切割损伤层 表面织构化，降低反射率，增加光的吸收 去除污染 多晶制绒 单晶制绒 清洗技术 单晶硅 多晶硅 硅锭的铸造过程 制绒的目的—去除切割损伤层 制绒的目的—去除切割损伤层 多线切割 制绒的目的—去除切割损伤层 切割损伤层 制绒的目的—去除切割损伤层 损伤层结构 制绒的目的—去除切割损伤层 如何测量损伤层厚度 制绒的目的—表面织构化 单多晶反射率测试及SEM图 制绒的目的—去除污染 制绒液可有效去除： 多晶制绒液(HF+HNO3+H20): 1). 去除损伤层包裹的杂质； 2). 微粒沾污； 3). 油渍、汗渍等有机物沾污； 4). 氧化层、自然氧化膜； 5). 大部分金属沾污； 6). 等离子体损伤。 单晶制绒液(NaOH+酒精+H2O): 1). 去除损伤层包裹的杂质； 2). 微粒沾污； 3). 部分金属沾污，如Al、Zn； 4). 等离子体损伤。 提纲 制绒的目的 多晶制绒 制绒液组成及作用 如何制作好的多晶绒面 不同片源存在腐蚀差异的原因 其他制绒方式 单晶制绒 清洗技术 制绒液组成 No.1 HF No.2 HNO3 No.3 H20 No.1 HCl 多晶制绒—制绒液组成及作用 “王水”组成 No.2 HNO3 No.3 H20 多晶制绒—制绒液组成及作用 多晶制绒—制绒液组成及作用 H2O会参加反应吗？ H2O的作用是什么？ H2O的作用是：稀释 H2O的替代者：冰醋酸(乙酸，HAc) 冰醋酸的优势： 冰醋酸具有稳定溶液PH值的作用，使反应更稳定： 冰醋酸是一种弱酸，可根据溶液的PH值情况吸收或释放H+离子，保持PH值不变，达到控制腐蚀速度的目的。 多晶制绒—制绒液组成及作用 HNO3/HF的作用： 硅被HNO3氧化，反应为： 用HF去除SiO2层，反应为： 总反应为： 此制绒体系的特点： 缺陷处腐蚀，起绒点是缺陷处，过分完整的表面反而无法制绒 自催化反应，反应大量放热和反应生成物会加速制绒速度 多晶制绒—如何制作好的多晶绒面 富HNO3体系or富HF体系？原因是什么？ 富HNO3体系 富HF体系 多晶制绒—如何制作好的多晶绒面 腐蚀温度的影响 多晶制绒—不同片源存在腐蚀差异的原因 原因主要由以下三种： 切割工艺存在差异导致：占主导作用 典型实例：金刚线切割与砂浆切割的制绒差异 铸锭工艺不同导致： 典型实例：均采用多晶腐蚀体系，单晶与多晶的制绒差异 晶向不同导致： 典型实例：密集晶粒与大晶粒的对比 多晶制绒—其他制绒方式 多晶硅片是否可以采用单晶碱制绒体系制绒？ 采用碱制绒体系制绒的缺点： Figure 1. Process flow for Onyx and comparison with Baseline. Figure 2. RIE process condition and principle 多晶制绒—其他制绒方式 RIE (RIE, Reactive Ion Etching) 制绒 Figure 1. RIE-A SEM, Χ50,000 Figure 2. RIE-B, Χ50,000 Figure 3. RIE-C, Χ50,000 多晶制绒—其他制绒方式 RIE (RIE, Reactive Ion Etching) 制绒 提纲 制绒的目的 多晶制绒 单晶制绒 基础理论知识 碱制绒液组成及作用 好的绒面判定标准 清洗技术 单晶制绒—基础理论知识 晶体硅--晶胞及晶向 ＜晶胞＞ 单晶制绒—基础理论知识 金字塔： 单晶制绒—基础理论知识 形成金字塔的原因：悬挂键差异导致腐蚀速率不同 ＜100晶向＞ ＜111晶向＞ 腐蚀速率：V 100 :V 111 = 67 : 1 (70 ℃条件下) 单晶制绒—制绒液组成及作用 化学反应式： Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑ 酒精的作用： 利用“相似相溶原理”带走产生的H2，即“消泡”； 降低溶液表面张力，提高硅片表面浸润能力，改善腐蚀均匀性。 制绒添加剂： 进一步降低溶液表面张力，可部分或完全取代酒精。 单晶制绒—制绒液组成及作用 酒精的沸点：制绒温度的设定限制 临界浓度：临界浓度越低，带走H2的能力越强。 哪种酒精更适合单晶制绒？ 提纲 制绒的目的 多晶制绒 单晶制绒 清洗技术 污染分类 RC