利用全息照相莫尔法测量轮廓差和形变-.PDF

利用全息照相莫尔法测量轮廓差和形变 本文叙述一种无接触比较物体轮廓和测 个主要缺点: 量形变的方法。 这种方tt利用摄影的两次曝 1.量程很小，只能测量几微米数量级的 光p 将待比较的物体或同一物体的两个不同 变化。 的负荷状态记录下来。 对全息照相重现的干 2. 光程必须保持在波长的几分之一内 涉场进行照明，在第二次曝光时，使干涉图的 不变p 因而对光学装置和机械装置稳定性的 0 相位移动 180 相同的物体或没有发生形 0 要求很高。 Peeok 提出的方法可以扩大量 程凶。全 变的物体 y 在这种情况下产生均匀的灰色图 息照相装置中光程的变化在两个物体表面上 象， 而轮廓差或形变由条纹系显示出来，条纹 系的反差给出形状差或形变的大小。 分别产生一个干涉图一一特殊的水平条纹。 这种方法扩大了全息干涉量 度 学的 量 这两个图重迭后形成一个莫尔条纹系p 根据 程 p 它的主要优点还在于 这个莫尔系可以测得由两个表面的差异p 这 p 不需要易受干扰的 全息照装置和干涉量度学装置，因此也可在 种差异是由物体的形变产生的，或者是两个 专门均光学实验室之外使用。 工件相比较的结果。 因为这种方法要进行四 次全息照相曝光p 所以仍有要求稳定性很高 { 一 - 一、引 = 的缺点。 在测量技术巾，常常需要对受负荷的构 Brooks 和 Helflinger 所描述的方法也 件的形状或物体形状相对于样板的偏差进行 可以扩大量程[飞在这种方法中，用干涉仪 无接触测量。 全息干涉量度学提供了一种十 在物体上产生轮廓线p 将轮廓线图拍摄成照 分精确的测量方法。 但是， 这样的方法有两 相负片3 显影后，重新精确调到照相机的摄影 · 善峪蒜马必给母;与《础善PjJ.3Jl.届辄础串串串剧怒吼;!. ~~\:};;..!). 主占{;j..~ $~与c以且以写..鼠苟咄葛~坏事咀事斟苟剧事蹦扭斟扭扭辄斟输咄苟A串串串 · 17; F召 5 单丝副主匹