第3讲 电池工艺段介绍-制绒与湿法清洗学习课件.pptVIP

多晶制绒—不同片源存在腐蚀差异的原因 原因主要由以下三种： 切割工艺存在差异导致：占主导作用 典型实例：金刚线切割与砂浆切割的制绒差异 铸锭工艺不同导致： 典型实例：均采用多晶腐蚀体系，单晶与多晶的制绒差异 晶向不同导致： 典型实例：密集晶粒与大晶粒的对比 多晶制绒—其他制绒方式 多晶硅片是否可以采用单晶碱制绒体系制绒？ 采用碱制绒体系制绒的缺点： Baseline Process RIE Process Damage Etch and Acid Texture POCl3 Furnace Diffusion RIE Texture Isolation and PSG Removal Deposition of SiNx ARC Metallization IV Measurement and Sorting Figure 1. Process flow for Onyx and comparison with Baseline. Figure 2. RIE process condition and principle 多晶制绒—其他制绒方式 RIE (RIE, Reactive Ion Etching) 制绒 Figure 1. RIE-A SEM, Χ50,000 Figure 2. RIE-B, Χ50,000 Figure 3. RIE-C, Χ50,000 多晶制绒—其他制绒方式 RIE (RIE, Reactive Ion Etching) 制绒 提纲 制绒的目的 多晶制绒 单晶制绒 基础理论知识 碱制绒液组成及作用 好的绒面判定标准 清洗技术 单晶制绒—基础理论知识 晶体硅--晶胞及晶向 ＜晶胞＞ 单晶制绒—基础理论知识 金字塔： 单晶制绒—基础理论知识 形成金字塔的原因：悬挂键差异导致腐蚀速率不同 ＜100晶向＞ ＜111晶向＞ 腐蚀速率：V 100 :V 111 = 67 : 1 (70 ℃条件下) 单晶制绒—制绒液组成及作用 化学反应式： Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑ 酒精的作用： 利用“相似相溶原理”带走产生的H2，即“消泡”； 降低溶液表面张力，提高硅片表面浸润能力，改善腐蚀均匀性。 制绒添加剂： 进一步降低溶液表面张力，可部分或完全取代酒精。 硅片 （a）无酒精 （b）有酒精 液滴 硅片 单晶制绒—制绒液组成及作用 酒精的沸点：制绒温度的设定限制 临界浓度：临界浓度越低，带走H2的能力越强。 哪种酒精更适合单晶制绒？ 提纲 制绒的目的 多晶制绒 单晶制绒 清洗技术 污染分类 RCA清洗技术 其他清洗技术 污染分类 具体内容 对电池的影响 污染（点状、膜状污染） 有机物沾污 各种有机物 阻挡扩散、烧结，接触电阻上升 金属污染 重金属 PN结发生漏电，Eff降低 轻金属 复合中心，影响电性能 Cu，Au等 复合中心，影响电性能 Al 破坏PN结 氧化膜残留，自然氧化膜 接触电阻上升 腐蚀 破坏PN结 微粒（粒子状污染） 尘埃（有机、无机） 影响断栅等，良率降低 损伤（看不见的污染） 切割损伤层 包裹污染源 等离子体损伤 带来轰击损伤 表面吸附电荷 吸附电荷， 离子注入（C，Cl，O等） 导致晶格畸变 清洗技术—污染分类 清洗技术—污染分类 金属污染 电池工艺段介绍 刘仁中 2014. 11.28 一、制绒与湿法清洗 海润光伏技术大讲堂第一期 培训受众：电池工艺工程师 培训地点：奥特斯维行政大会议室 培训时间：每周三、五下午1:30开始，时长2小时左右 预期达到的目标 太阳能电池基本知识：了解+掌握 电池线各道工艺：熟悉工艺+学习经验 电池诊断与分析：充分利用检测设备 电池技术专题：电池提升技术，包括高效电池技术 产品拓展：了解电池上下游 提纲 制绒的目的 去除切割损伤层 表面织构化，降低反射率，增加光的吸收 去除污染 多晶制绒 单晶制绒 清洗技术 单晶硅 多晶硅 硅锭的铸造过程 制绒的目的—去除切割损伤层 制绒的目的—去除切割损伤层 多线切割 硅片 切割损伤层（6~10微米） 制绒的目的—去除切割损伤层 切割损伤层 制绒的目的—去除切割损伤层 损伤层结构 制绒的目的—去除切割损伤层 如何测量损伤层厚度 制绒的目的—表面织构化 单多晶反射率测试及SEM图 制绒的目的—去除污染 制绒液可有效去除： 多晶制绒液(HF+HNO3+H20): 1). 去除损伤层包裹的杂质； 2). 微粒沾污； 3). 油渍、汗渍等有机物沾污； 4). 氧化层、自然氧化膜； 5). 大部分金属沾污； 6). 等离子体损伤。 单晶制绒液(NaOH+酒精+H2O): 1). 去除损伤层包裹的杂质； 2).