基于扩散掺杂的ZnO微纳结构制备及其光学性质研究-光学专业论文.docxVIP

摘 要 ZnO 微纳结构性能优越而被广泛应用到各个高新技术领域，尤其是在光电子器件 方面具有重要的应用价值。受主掺杂型 ZnO 因不必是纯粹的 p 型材料也可实现受主相 关的发光，因而近年来对此类材料的研究一直倍受关注。本论文采用扩散掺杂原理， 围绕受主掺杂型 ZnO 微纳结构制备及其光学性质展开了研究。发现以 IB 族元素 Cu、 Ag 和 V 族元素 N 对 ZnO 微纳结构进行掺杂，可实现对 ZnO 光学性质的调控，且可在 其发光光谱中观察到明显的受主发光行为。具体研究结果如下： 1. 利用不同的方法制备了 Ag 掺杂 ZnO 纳米结构。利用化学浴沉积法制备了 Ag 掺杂 ZnO 纳米棒及花状结构；利用水热法结合原子层沉积技术制备了 ZnO/Ag-ZnO 核 壳纳米棒结构。测试结果表明，Ag 掺杂的 ZnO 纳米结构中均观察到了受主相关发光峰， ZnO/Ag-ZnO 核壳纳米棒结构受主结合能为 124meV。 2. 研究 N 化处理对 Ag 掺杂 ZnO 纳米结构的影响。经过对比分析发现，N 化处理 可以提高 Ag 在 ZnO 中的掺杂浓度，减少 ZnO 的表面缺陷，且具有较好的受主相关的 发光行为。 3. 利用溶胶凝胶法制备了 Cu 掺杂 ZnO 薄膜。发现 Cu 掺杂可导致 ZnO 的吸收边 红移，且退火后的掺杂样品中观察到较好的受主发光行为。 4. 利用柯肯达尔效应，获得了 ZnO/ZnAl2O4 核壳纳米棒阵列。研究表明热扩散后 纳米棒阵列的发光性质与受主相关，而受主的来源主要为退火过程中 ZnO 中锌离子向 Al2O3 层扩散而留下的锌空位，受主结合能为 118 meV。 关键词：ZnO 扩散掺杂 Ag 掺杂 N 化处理 受主 I II II ABSTRACT ZnO micro-nano structure of superior performance is widely applied to various areas of the new and high-tech field. Acceptor related emissions can be realized by acceptor doping in ZnO materials. So the acceptor doped ZnO materials have attracted much attention. This thesis focuses on the optical properties of acceptor doped ZnO micro-nano structures. It was found that doping by elements Cu, Ag, and N can tune the optical properties of ZnO micro-nano structures. Acceptor related emissions can be observed in the luminesence spectra. The main results are as follows: Ag doped ZnO nanorods were prepared by different methods. Ag doped ZnO nanorods and flower like structure were prepared by chemical bath deposition method. Combined the hydrothermal method with the atomic layer deposition technique, ZnO/Ag-ZnO core-shell nanorods were prepared. It was found that the acceptor related emissions were observed in photoluminesce spectra. The calculated acceptor binding energy is about 124 meV. The influence of N treatment on the optical properties of Ag doped ZnO nanostructures was investigated. It was found that N treatment could increase the Ag concentration in ZnO films. The Ag-doped ZnO nanorods obtained by diffusion method exhibite go