基于平面光波导技术的光分插复用器的研究-微电子学与固体电子学专业论文.docx

基于平面光波导技术的光分插复用器的研究基于平面光波导技术的光分插复用器的研究 基于平面光波导技术的光分插复用器的研究 基于平面光波导技术的光分插复用器的研究 李明(微电子学与固体电子学) 指导老师： 吴亚明研究员 摘要 光通信网络发展的必然趋势是全光网，全光网的发展水平取决于光器件的进 展。光分插复用器(OADM)是波分复用(WDM)系统的核心器件，是全光网发 展到环形与网状结构的标志性器件。基于平面光波导技术的OADM具有体积小、成 本低、性能高等优点，符合光器件集成化的发展方向。因此研究基于平面光波导技 术的光分插复用器具有非常重要的意义。 本论文以OADM器件作为研究对象，在平面光波导与波导光栅的基本原理以及 零祸合器OAD器件的基本原理与设计方法的基础上，主要研究了波导gragg光栅 辅助的耦合器型OADM器件的设计与优化以及OADM器件的实验制作。 论文首先研究了零耦合器型OADM器件的基本原理与设计方法，特别是Y分支 的串扰特性与斜光栅的耦合特性。对于Y分支结构的理论分析，论文首次采用正交 模式与波导模式相结合的方法。该理论简单、直观，计算结果与有限差分光束传播 方法(FD—BPM)模拟结果相吻合。 论文首次提出了一种基于斜光栅辅助的对称耦合器型OADM器件。通过增强对 称耦合器的两种正交模式在光栅区域模场分布的相似性，使斜光栅的自耦合作用与 互耦合作用同时达到最优，从而保证OADM器件在输入与上载端口获得低的回波以 及低的串扰。 论文首次提出一种降低OADM器件回波的回波峰值波长设计法。它利用wDM信 号的特性，将器件的工作波长设计到wDM信道内，回波蜂值波长设计到wDM信道外， 使得器件的回波大大降低，工艺容差显著增加。它适用于不同类型的OADM器件， 为实现高性能、大工艺容差的OADM器件的设计提供了一种可行的技术方案。 论文首次提出了基于斜光栅辅助的非对称耦合器型OADM器件的设计。它运用 复合波导的三维正交模式，对器件的三种结构进行理论分析以优化结构，并运用回 波峰值设计法，降低了器件的回波，扩大了器件的工艺容差。 论文在国内首先进行了UV写入波导Bragg光栅的实验，较为系统地研究了相 中国科学院上海微系统与信息技术研宄所博士学位论文 I 摘要位掩膜法写入的波导Bragg光栅的特性。 摘要 位掩膜法写入的波导Bragg光栅的特性。 沦文首次制作了基于波导Bragg光栅的非对称耦合器型OADM器件。经测试其 插损为7dB，串扰为一23dB，回波为一22dB。实验结果也验证了回波峰值波长设计法 的正确性。笔者对实验结果进行了分析，对下一步的工作进行了展望，确定了改进 方向与措施。 关键词：硅基二氧化硅材料，平面光波导，波导布拉格光栅，光分插复用器 中国科学院上海擞系统与信息技术研究所博士擘住论文 II 基于平面光波导技术的光命橘复用嚣的研究Research 基于平面光波导技术的光命橘复用嚣的研究 Research on Optical Add Drop Multiplexer based Oil planar lightwave circuit technology Li Ming(Microelectronics and Sol id State Elect ronics) Di rected by Wu Yaming，Profes sor Abstract The progress of optical devices determines the development stage of the All Optical Network(AON)，which is the necessary development trend ofthe optical communication network．Optical Add Drop Multiplexer(OADM)，the key component of the Wavelength division Multiplexing(WDM)communication system，marks the development of the AON into ring-or mesh—structure．The OADMs based on Planar Lightwave Circuit(PLC、 technology have the advantages of small size，low cost，high performance and accord with the direction of the optical devices toward integration．Therefore，it is of great significance t