现代传感技术 教学课件 ppt 作者 黄元庆 第4章.pptVIP

第4章 计量光栅传感技术 计量光栅传感器是一种重要的传感器，计量光栅传感器也称莫尔光栅传感器，由于它是以数字量形式输出，因此可以把它看成一种数字式传感器。通过本章的学习，主要理解、掌握计量光栅的基本类型、测量的基本原理，以及运动方向的判断、莫尔条纹的细分技术。 计量光栅传感技术 4.1 计量光栅结构的基本特点与种类 4.2 光栅测量的基本原理与莫尔条纹的基本特性 4.3 常见的光栅光学系统 4.4. 莫尔条纹信号处理方法 4.5 高倍细分技术 4.6 计量光栅传感技术应用实例 计量光栅结构的基本特点与种类 作计量用的光栅称作计量光栅。计量光栅具有测量精度高、可靠性好、量程大、结构简单、成本相对较低、对环境要求不严、抗干扰性好、可直接与计算机接口或独立进行数显、数控和便于自动测量等一系列优点 。 根据测量的运动形式不同，计量光栅可分为两大类 长光栅（测量平移等，见图 4?1） 圆光栅（测量转动、角位置、角位移、角速度、角加速度等，见图 4?2） 光栅的分类如下： 计量光栅结构的基本特点与种类 计量光栅结构的基本特点与种类 光栅测量的基本原理与莫尔条纹的基本特性 莫尔条纹的形成 莫尔条纹测量原理与基本特性 1.长光栅莫尔条纹 2. 圆光栅的莫尔条纹 莫尔条纹的形成 当两光栅面相对叠合时，透射光会形成莫尔（moire）条纹。光栅测量主要是利用莫尔条纹来进行的。 莫尔条纹的形成，实质上是光通过一对光栅（常常称为“光栅副”）时所产生的衍射和干涉的结果。 计量光栅中使用的一对光栅，其中长的一个，称为主光栅或标尺光栅，另一根较短，称为指示光栅。 莫尔条纹测量原理与基本特性 1.长光栅莫尔条纹 长光栅组的栅线方程 斜光栅组的栅线方程为 莫尔条纹测量原理与基本特性 1.长光栅莫尔条纹 相邻两亮线（或暗线）间的间距为两相邻k值所代表的两直线之间的距离，记以W，则W 为 莫尔条纹测量原理与基本特性 1.长光栅莫尔条纹长光栅莫尔条纹具有以下基本特性： （1）莫尔条纹横向性 （2）莫尔条纹位移放大作用 （3）光闸莫尔条纹 （4）游标莫尔条纹 （5）莫尔条纹的运动情况 （6）莫尔条纹的消误差作用 莫尔条纹测量原理与基本特性 2. 圆光栅的莫尔条纹 计量圆光栅的系统结构和长光栅的结构类似，一般由黑白光栅副和光学系统、接收系统所组成。 根据光栅栅线形状的不同，圆光栅分为： 圆形 直线形 径向辐射光栅 切向光栅 由于各类圆光栅本身结构上的差别，使它们各自的莫尔条纹的形状也各不相同。 莫尔条纹测量原理与基本特性 节距角相同的两径向光栅偏心叠合 圆光栅莫尔条纹具有的基本特性有 （1）莫尔条纹横向性与纵向性 （2）条纹宽度非定值空间角位移与条纹平移量关系非线性 常见的光栅光学系统 光栅光学系统一般分为光强调制型与相位调制型两大类。 光强调制型又可分为 反射式单光栅光学系统 反射式单光栅光学系统最大特点是空间分辨率提高一倍，即光栅移动半个栅距，莫尔条纹变化一个周期。 反射式双光栅光学系统 透镜式双光栅光学系统 双光栅又可分为直接接受式与分光接受式两类。 相位调制型光学系统又可分为 光栅扫描式相位调制光学系统 光电器件自扫描式相位调制光学系统 光强调制型光学系统 光强调制型光学系统 相位调制型光学系统 相位调制型光学系统 莫尔条纹信号处理方法 1. 信号采集与运动方向辨别 2. 信号处理——差分放大器 1. 信号采集与运动方向辨别 为实现正反向测量和消除直流分量影响以及条纹细分需要，通常采用光电接收器件陈列法。如使用4相硅光电池。这种横向排列的方法对光源、准直镜和光敏二极管阵列的安装带来困难。 通常使用裂相指示光栅作为计量光栅解决这个问题。 1. 信号采集与运动方向辨别 1. 信号采集与运动方向辨别 1. 信号采集与运动方向辨别 1. 信号采集与运动方向辨别 2. 信号处理——差分放大器 在莫尔条纹输出信号中的直流电平，不但使信号的对比度变差，而且影响到以后的电子细分的精度或者说直接限制了电子细分的倍数。因此总希望尽量消除输出信号中的直流分量。因此通常使用差动放大器。 此外，差动放大器的使用，还使输出信号中的基频分量振幅提高了一倍。 2. 信号处理——差分放大器 2. 信号处理——差分放大器 当莫尔条纹的宽度和4 相光电池的几何宽度一致时，图 中4 个光电元件输出的信号依次为 高倍细分技术 细分技术种类 1.光学细分法 2.机械细分法 3.电子细分方法 4.软件细分方法 电子细分技术 电路细分技术有多种形式， 电阻移相细分 乘法倍频细分 相位调制电子细分 光栅闭环数控机床位置检测装置 * 现代传感技术 黄元庆 现代传感技术 黄元庆 图4－1 长光栅的结构示意图 图 4?2 圆光栅的