全氟化物PFCs排放减量协议书.doc

PAGE PAGE 2 全氟化物排放減量合作備忘錄 全氟化物排放減量合作備忘錄 行政院環境保護署 台灣半導體產業協會 中華民國九十四年七月二十一日 壹、前言 本合作備忘錄為行政院環境保護署（以下簡稱甲方）與台灣半導體產業協會（以下簡稱乙方）間之自願性全氟化物排放減量合作協議。 本合作備忘錄內容所指全氟化物（Perfluorocarbons, PFCs）為半導體產業所使用之全氟化物及同類化合物，包括四氟化碳（Perfluoromethane, CF4）、三氟甲烷（Trifluoromethane, CHF3）、六氟乙烷（Perfluoroethane, C2F6）、全氟丙烷（Perfluoropropane, C3F8）、四氟環丁烷（Perfluorocyclobutane, C4F8）、六氟化硫（Sulfur Hexafluoride, SF6）及三氟化氮（Nitrogen Trifluoride, NF3）等，均屬於高全球暖化潛勢之溫室氣體。 雙方咸知本合作備忘錄之主要目的係藉由推展具有技術/經濟可行性之因應策略，降低產業製程中全氟化物之排放，以達到環境保護與產業發展之雙贏效益。 貳、一般性原則 全氟化物之使用和排放係來自於半導體設備與元件製造過程之化學汽相沈積（Chemical Vapor Deposition, CVD）反應腔清洗（Chamber Clean）及乾式蝕刻（Dry Etching）兩項製程。 雙方咸知半導體產業於製造相關產品時須使用全氟化物，截至目前為止，業界尚未研發出其它足以全面取代全氟化物之化學品，而且全氟化物之回收控制設備經濟效益不佳，成效極為有限，近期內恐無法大幅降低全氟化物之使用量及排放量。 現今半導體產業市場競爭極為激烈，強制限定全氟化物之使用量，恐削弱台灣半導體產業在國際競爭力。但雙方咸知環境保護為產業永續發展之基石，故由產業與政府共同簽署此項自願性全氟化物排放減量合作協議，除可作為其他國家相關產業之典範外，更有督促國內產業積極配合政府環保政策，達成建構生態科技產業之目標。 半導體產業之全氟化物實際排放量估算，將依循國際環保公約規範及產業特性，採用聯合國氣候變遷政府間專家委員會（Intergovernmental Panel on Climate Change, IPCC）所發布之半導體製程Tier 2 Method （如附件一所示），以推估各半導體全氟化物之年排放量。 雙方將以誠信原則履行此合作備忘錄之各項義務，遇有任何問題發生，同意彼此應即時通知對方，共同合作達到此合作備忘錄之最大效益。 雙方得經協商後，於此合作備忘錄附加其他條款，該條款須有利於全氟化物之排放減量，且不與其它條款相衝突。 此合作備忘錄對於雙方採取之全氟化物減量活動，並無任何法律約束力。 參、甲方義務 甲方將為此合作關係指派一位聯絡人，負責與乙方之溝通協調工作（述明於附件二）；聯絡人若有變更時，甲方將於變更後30日內通知乙方。 甲方將在現行環保法令制度下，盡可能提供有助於達成此合作備忘錄目標之協助，並對於執行全氟化物排放減量績效卓著之公司或單位，研擬適當之獎勵補助措施，並廣為宣揚會員公司履行全氟化物排放減量有具體貢獻者。 為了能使溫室氣體排放減量工作與國際接軌，並建立台灣產業溫室氣體排放減量績效驗証示範案例，甲方同意協助乙方進行下列工作： 委託經國際組織或雙方認可之顧問機構，協助乙方依循國際規範建立溫室氣體排放量盤查、申報及減量績效量測程序；進行排放減量設備之效率檢測作業，並協助提昇排放減量設備效能； 委託經國際組織認可之驗證機構，執行溫室氣體排放減量績效查證（Validation）及驗證（Verification）作業； 舉辦國際認可有關溫室氣體盤查及驗証稽核訓練課程； 出席氣候變遷或全氟化物排放減量相關國際研討會議； 提供政府部門氣候變遷因應政策及推動措施等相關資訊，以增進雙方溝通交流。 甲方履行本合作備忘錄內容之相關義務以不與其他法令相牴觸為原則。 肆、乙方義務 乙方將為此合作關係指派一位聯絡人，負責與甲方之溝通協調工作（述明於附件二）；聯絡人若有變更時，乙方將於變更後30日內通知甲方。 乙方同意於每年8月31日前提報上一年度全產業全氟化物排放量統計結果予甲方，但不列舉個別會員公司排放量，以避免涉及個別會員公司商業機密；乙方提報之年度報告內容應包括乙方所有參與簽署之會員公司的全氟化物排放估計量總和。乙方亦同意將推估方法及該方法之準確度與完整性共同納入此份年度報告。任何推估方法的修改將於往後之年度報告中更新。 乙方同意每年以附件三所列格式記錄全氟化物之排放，作為其年度報告之一部分。乙方將保存記錄，作為排放資料查核之用。 乙方將依個別會員公司之特性