毕业论文-- 横观各向同性PZT薄膜的弹性常数研究.docxVIP

毕业论文 横观各向同性PZT薄膜的弹性常数研究 院 、 部： 学生姓名： 指导教师： 职称 专 业： 班 级： 完成时间： PAGE PAGE I 摘 要 在材料科学领域中我们通常使用纳米压痕测试技术来检测材料的力学性能，这是因为纳米压痕测试技术具备高精确性、操作方便快捷有效和对样品材料的尺寸要求小等优点。所以本文也选择纳米压痕测试技术来做PZT（Piezoelectric Ceramic Transducer ，压电陶瓷）薄膜材料的压痕实验，但是经过研究证明，实验结果反映的也是薄膜和基底体系的综合性能，而不是PZT薄膜材料的固有特性。因此本文需要考虑减轻或者避免基底效应的影响来表征PZT薄膜的本征力学性能，在本文中我们通过求解PZT薄膜的弹性常数来作为材料的力学性能指标。 本文的研究步骤和结果主要如下：先修正PZT薄膜和基底组合体系的纳米压痕技术加载曲线图，主要是将加载曲线拟合成指数函数的形式，通过这一步获得加载曲线的指数x和最大加载载荷Fmax。然后在正面分析中，我们对选择的研究对象PZT薄膜做有限元模拟和无量纲分析，得出了关于最大加载载荷Fmax、记载曲线指数x以及反映PZT薄膜材料弹性