毕业论文 --纳米压痕结合有限元法确定ZnO薄膜的压电系数.docxVIP

毕业论文 纳米压痕结合有限元法确定ZnO薄膜的压电系数 院 、 部： 学生姓名： 指导教师： 职称 专 业： 班 级： 完成时间： PAGE PAGE I 摘 要 薄膜材料由于科技的成长与进步，在日常生活以及各个行业范围中都得到了广泛的普及。因为薄膜材料具有独特的力学性能、微观结构、电学性能、物理与化学性能等，因此人们对薄膜材料的研究方面也越来越重视。薄膜材料在各个行业的实际应用中承担的作用不管是功能元件还是结构元件，其所拥有的力学性能对它的应用有着十分重要的作用与意义，因此薄膜材料研究领域将薄膜材料力学性能的研究作为了一项重要的任务。ZnO薄膜具有优良的压电性、导电性、光电性以及气敏性等特点，不仅能够作为薄膜材料也能作为压电材料，存在压电效应，而且容易与半导体材料实现集成化，具有许多广泛以及潜在的用途。 本文研究的主要内容将从以下几个方面着手：简述ZnO薄膜材料的基底效应。经过将纳米压痕实验过程中的加载曲线进行拟合，表示为幂指数的函数表现形式，确定其十分重要的三个力学参数，分别是：最大压痕深度hm、最大加载力Fmax以及加载曲线指数x。将考虑薄膜/膜基体系所存在的基底效应的影响