具体内容及配套措施.docVIP

具體內容及配套措施 (含現有設施及未來設施規劃、課程規劃、使用規劃、管理規劃等) 一、現有軟硬體設施 機電系統實驗室 編號 設備名稱 數量 1 Probe-station system 1套 2 清洗蝕刻工作台 1台 3 微電鑄系統 1套 4 溫控烘箱 2台 5 微數位式電子天平 2台 6 壓模機 1台 7 薄厚膜旋轉塗佈機 1台 8 紅外光譜儀 1台 9 熱重量分析儀 1台 10 電阻抗測試儀 1台 11 氣相分析儀 1台 12 電解分析儀 1台 13 頻譜分析動態量測系統 1台 14 膜厚度量測儀 1台 15 膜硬度量測儀 1台 16 四點探測儀 1台 17 恆電位儀 1台 18 光學影像彩色拷貝機 1台 奈米科技與非傳統加工實驗室 編號 設備名稱 數量 1 熱CVD實驗爐 1套 2 真空烘箱 1台 3 GAUSSVIEW奈米分析軟體 1套 4 CNC放電加工機 2台 5 直流高壓電源供應器 1台 6 微電子天平 1台 7 表面粗度計 1台 8 超音波洗淨器 1台 9 氣體供應系統 1套 10 儲存式數位示波器 1台 11 實驗監測系統 1套 12 任意波形產生器 1台 精密儀器實驗室 編號 設備名稱 數量 1 DMA (Dynamic Mechanical Analysis ) 一套 2 DSC ( Differential Scanning Calorimeter ) 一