PN结二极管工艺流程.ppt

PN结二极管的制备 主要内容： PN结二极管的制备 * ppt课件 （0）准备 p-Si 1、制备单晶硅片 2、硅片表面的化学清洗 PN结二极管的制备 * ppt课件 (1) 氧化 问题： 1、为什么要双面氧化？ 2、氧化层的厚度需要大于设计的厚度，为什么？ PN结二极管的制备 * ppt课件 (2) 涂胶 问题： 1、涂胶过程 2、光刻胶分类，作用，常用的光刻胶？ 3、涂胶后，曝光前，对光刻胶加固的过程是什么工艺 PN结二极管的制备 * ppt课件 Mask 1 黑色部分都是不透光的，中间的白色部分是做扩散的位置。 Mask的剖面图 PN结二极管的制备 * ppt课件 （3）曝光 问题： 1、光刻的作用？ 2、图中使用的是正胶，如果用负胶如何修改工艺？ PN结二极管的制备 * ppt课件 （4）显影 问题： 1、什么是显影工艺？ 2、显影液选择的注意事项。 PN结二极管的制备 * ppt课件 （5）腐蚀 问题： 1、腐蚀分为哪两种形式，各有什么特点？ 2、选用腐蚀液要注意什么？ PN结二极管的制备 * ppt课件 （6）去胶 1、通常用什么方法去胶？ 问题： PN结二极管的制备 * ppt课件 （7）杂质扩散 1、硅片要经过适当的清洗后 2、应该扩散什么杂质 3、杂质扩散源有哪些 4、以液态扩散源简要说一下扩散的化学原理 5、这只是杂质的预淀积。 问题： PN结二极管的制备 * ppt课件 (8)驱入 在未被氧化层保护的区域形成了n+-p结。 （n+中的“+”号表示高掺杂） 问题： PN结二极管的制备 * ppt课件 （9）金属化 1、金属化的目的？ 2、淀积金属薄膜有几种方法？ 3、（低于或等于500oC）退火来改善金属层 与硅之间的欧姆接触。 问题： PN结二极管的制备 * ppt课件 (10)涂胶 目的：通过光刻去除扩散结区域之外的多余的金属薄膜。 PN结二极管的制备 * ppt课件 Mask 2 Mask 黑色部分都是不透光的，四周的白色部分是刻蚀金属的位置。 Mask的剖面图 问题：可不可以用Mask1？ PN结二极管的制备 * ppt课件 (11)曝光mask2板 问题： 如果采用负胶，如何修改掩膜板Mask2？ PN结二极管的制备 * ppt课件