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PM-630 10吋晶圓檢測顯微鏡 觀 察 鏡 筒 三眼鏡筒,傾斜角度45度,可360度旋轉,附偏光裝置 光 瞳 間 距 55mm – 74mm 目 鏡 廣角目鏡 WF10X/18 一對 WF16X/14 一對 物 鏡 消色差物鏡: 4X/0.10 WD=17.9mm 消色差物鏡: 10X/0.25 WD= 6.5mm 平場消色差物鏡: PL20X/0.40 WD=1.05mm 平場消色差物鏡: PL40X/0.65 WD=0.74mm 4X 10X 40X(S) 100X(S)Oil 載 物 平 台 雙層機械移動平台,平台尺寸:400mm×300mm 縱向移動範圍:254mm 橫向移動範圍:254mm 放 大 倍 率 40X~640X 調 焦 裝 置 粗細調節輪同軸,調焦範圍:36mm 細調格值 0.002mm 照 明 系 統 落射照明: 12V50W鹵素燈 透射照明: LED光源 配 件 藍色濾光片 防塵套 PM-530 晶圓檢測顯微鏡 觀 察 鏡 筒 三目鏡筒,傾斜角度30?,內置檢偏振片,可進行切換 目 鏡 廣角目鏡 WF10X/18 一對 WF16X/14 一對 物 鏡 轉 換 器 五孔式 (外向式滾珠內定位) 物 鏡 平場消色差物鏡: PL 5X/0.12 平場長工作距離消色差物鏡: PLL 10X/0.25 平場長工作距離消色差物鏡: PLL 20X/0.40 平場長工作距離消色差物鏡: PLL 40X/0.60 載 物 平 台 雙層機械移動平台,平台尺寸:280mm×270mm 縱向移動範圍:205mm 橫向移動範圍:205mm 放 大 倍 率 50X~640X 調 焦 裝 置 載物台升降,粗微動同軸調焦, 微動格值0.7μm, 粗動鬆緊可調,帶鎖緊和限位元裝置 照 明 系 統 落射照明: 6V20W鹵素燈 配 件 藍色濾光片 防塵套 PM-430 晶圓檢測顯微鏡 觀 察 鏡 筒 三目鏡筒,傾斜角度30?,內置檢偏振片,可進行切換 目 鏡 廣角目鏡 WF10X/18 一對 WF16X/14 一對 物 鏡 轉 換 器 4孔式 物 鏡 消色差物鏡: 4X/0.10 消色差物鏡: 10X/0.25 平場消色差物鏡: PL 20X/0.40 平場消色差物鏡 PL 40X/0.60 載 物 平 台 雙層機械移動平台,平台尺寸:355mmX255mm 縱向移動範圍:200mm移動範圍:200mm 放 大 倍 率 50X~640X 調 焦 裝 置 粗微動調焦範圍 25mm,微調轉動一圈樣品升降0.2mm,格值0.002mm 照 明 系 統 落射照明: 6V20W鹵素燈 配 件 藍色濾光片 防塵套 PM-393 金像顯微鏡 觀 察 鏡 筒 三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進行切換) 目 鏡 大視場目鏡 WF10X/20 一對 物 鏡 平場消色差物鏡: PL 5X/0.10 平場消色差物鏡: PL 10X/0.25 平場長工作距離消色差物鏡: PLL 20X/0.40 平場長工作距離消色差物鏡: PLL 50X/0.70 載 物 平 台 雙層機械移動式 平台尺寸:210mmX140mm 縱向移動範圍:75mm橫向移動範圍:50mm 放 大 倍 率 50X~500X 調 焦 裝 置 粗細調節輪同軸帶限位所緊裝置 細調格值 0.002mm 聚 光 鏡 阿貝式聚光鏡N.A.1.25,可上下升降調節 照 明 系 統 落射照明: 6V20W,配備起偏振片,(黃,藍,綠)濾色片和磨砂玻璃 透射照明: 集光器(內置視場光欄),6V20W鹵素燈光源 配 件 防塵套 藍色濾光片 PM-303 金像顯微鏡 觀 察 鏡 筒 三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進行切換) 目 鏡 大視場目鏡 WF10X/20 一對 物 鏡 平 場 消 色 差 物 鏡: PL 5X/0.10 WD=17.9mm 平 場 消 色 差 物 鏡: PL 10X/0.25 WD= 8.9mm 平場長工作距離消色差物鏡: PLL 20X/0.40 WD=8.5mm 平場長工作距離