旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差-中国科学院长春光学精密.pdf

第 卷 第 期 ， ３１ 　 ８ 光 学 学 报 Ｖｏｌ．３１ Ｎｏ．８ 　 　 　 年 月 ， ２０１１ ８ Ａｕ ｕｓｔ ２０１１ ＡＣＴＡＯＰＴＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｇ 　 　 　 旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 王 平 田 伟 王汝冬 王立朋 隋永新 杨怀江 　 　 　 　 　 　 　 （ ， ） 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 １３００３３ ， 。 摘要 为实现对光学元件的高精度面形测量 建立了一种旋转支撑结构的高精度测量方法 对该方法的理论原 　 、 。 。 理 数值仿真和误差分析等进行了研究 首先根据元件夹持工况仿真分析了支撑变形的特性 接着用泽尼克多项 ， ， 。 式拟合波面 建立了旋转支撑法的理论模型 并推导出光学元件去除支撑影响后的面形公式 用仿真分析的方式 ， 。 ， 验证了理论模型 对计算的面形结果与理论面形进行了比较分析 最后 分析了影响旋转支撑法测量精度的误差 。 ， ， ， 项 仿真分析结果表明 通过两次旋转支撑结构的方式 可以有效地去除元件支撑造成的面形误差 计算值与真实 ， 。 值之间的误差为支撑误差的泽尼克多项式的高阶对称项 满足元件面形的高精度检测要求 ； ； ； ； 关键词 测量 元件夹持 测量误差 夹持误差 旋转支撑法 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４３６ Ａ ｄｏｉ １０．３７８８ＡＯＳ２０１１３１．０８１２００４ 　 　　　 　 　　　 Ｒｏｔａｔｉｎ ＣｈｕｃｋＴｅｓｔｆｏｒＲｅｍｏｖｉｎ ＣｈｕｃｋＥｒｒｏｒｏｆＯ ｔｉｃａｌＳｕｒｆａｃｅ ｇ 　 　 　 ｇ 　 　 　 ｐ 　 　 　 Ｗａｎ Ｐｉｎ ＴｉａｎＷｅｉ Ｗａｎ Ｒｕｄｏｎ Ｗａｎ Ｌｉｅｎ ＳｕｉＹｏｎ ｘｉｎ Ｙａｎ Ｈｕａｉｉａｎ 　 　 　 　 　 　 　 ｇ ｇ ｇ