第4章 电容式传感器 4.1传感器的工作原理及类型 4.2电容传感器的灵敏度及非线性 4.3电容传感器的特性等效电路 4.4电容传感器的设计要点 4.5电容式传感器的转换电路 4.6电容式传感器的应用举例 本章要点 电容式传感器? 电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容量变化的--种传感器。 §4.1 工作原理、分类及应用 一、工作原理 二、分类 (按工作原理分类) 改变s、δ、? 三个参量中的任意一个量,均可使平板电容的电容量C 改变。 固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器。 1、变极距型电容传感器 2、变面积型电容传感器 电容量的变化与面积的变化成线性关系。 电容式液位计 棒状电极(金属管)外面包裹聚四氟乙烯套管,当被测液体的液面上升时,引起棒状电极与导电液体之间的电容变大。 电容式接近开关外形 湿敏电容传感器外形 其他应用: §4.2 电容式传感器灵敏度及非线性 讨论: 为了保证一定的线性度,应限制动极板的位移量。通常规定测量范围 △δ δ0,,此时,传感器的灵敏度近似为常数。 电容量C与极距δ呈非线性关系,减小初始极距δ将增大非线性误差。 在实际应用中, 为了提高灵敏度、减小非线性误差, 大都采用差动式结构。 差动电容结构: 2、变面积式 用于角位移测量的电容式传感器的结构如下图。A、B为同一平面
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