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一种声表面波温度传感器 测量精度的改进 陈俊强 （ABB( 中国)有限公司中压产品技术中心，福建 厦门 361006 ） 摘要 本文介绍了一种声表面波温度传感器的测量原理，以及在温度监测上测量精度的验证 和在Excel 中设置仿真环境平台，调整参数提高测量精度的改进方法。 关键词：声表面波；温度监测；误差；改进 Improvement to Surface Acoustic Wavesensor Precision Chen Junqiang (ABB (China) Co. Ltd Power Product Medium Voltage Technology Center, Xiamen, Fujian 361006) Abstract This paper introduce a kind of surface acoustic wave temperature sensor, including the measurement principle, the application in on-line temperature, theprecision deviation and how to set up the simulation platform in Excel to make the improvement. Keywords ：surface acoustic wave ；on-line temperature monitoring ；error ；improvement 在线测温可以及时地反映设备运行状态下的健 计算。计算公式[3]如下： 康程度，在事故酝酿期发现隐患并报警，对设备的 f f 0 2 （1） 安全运行具有重要意义。基于声表面波（SAW ）的 tK (T −T ) +tK (T −T ) +1 2 ref 1 ref 无线无源温度传感器，目前在在线测温中有所使用。 式中，f 0 为基准频率；f 为传感器测量到的频率；T SAW 传感器在实际应用中，比较少有厂家对其全测 为传感器测量到的温度；tK1 和 tK2 为线性温度系数， 量范围的测量精度进行论证。本文研究了该种温度 系统提供默认值，可在应用软件修改；Tref 为参考温 传感器的测量原理，通过试验发现了其测量误差的 度，系统提供默认值，不可直接在应用软件修改。 规律，最后通过模拟分析和试验证明了改进方法的 可行性。 1 声表面波传感器测量原理 1.1 基本原理 射频收发器[1]通过天线发射的电磁波信号被传 感器天线接收后，由 IDT[2] （叉指换能器）转换为 声表面波，声表面波在压电基片表面传播，经过反 射器反射回 IDT ，再重新转换成电磁波信号，传回 图1 声表面波温度传感器原理 收发器。声表面波的频率受传感器本身温度的影响 正常都是在常温下校正，比如常温是 25 ℃，传 而变化，所以带有温度信息，通过换算可以转换为 感器测量到的频率是 432343296Hz ，使用系统默认 温度。 的参数进行校验，根据上述公式得到f 0 基准频率， 1.2 校正原理 存入收发器