四氟甲烷化学品安全技术说明书.pdf

湄格气体 四氟甲烷化学品安全技术说明书 第一部分：化学品名称技术说明书 *化学品中文名称： 四氟甲烷 （H-14) 化学品英文名称： TETRAFLUOROMETHANE （H-14) 中文名称 2： 四氟化碳 英文名称 2： CARBONTETRAFLUORIDE 技术说明书编码： 76 CASNo.： 75-73-0 分子式： CF4 分子量： 88.01 第二部分：成分//组成信息// 有害物成份 含量 CASNo. 四氟甲烷 75-73-0 第三部分：危险性概述 危险性类别： 侵入途径： 健康危害： 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 环境危害： 燃爆危险： 本品不燃，具窒息性。 第四部分：急救措施 皮肤接触： 眼睛接触： 吸入： 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止， 立即进行人工呼吸。就医。 食入： 第五部分：消防措施 危险特性： 不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 有害燃烧产物： 氟化氢。 灭火方法： 本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 第六部分：泄漏应急处理 应急处理： 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应 WWW.MIRAGASES.COM TEL:+86-379 FAX:+86-379 湄格气体 急处理人员戴自给正压式呼吸器， 穿一般作业工作服。 尽可能切断泄漏源。 合理通 风， 加速扩散。 如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 第七部分：操作处置与储存 操作注意事项： 密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规 程。 远离易燃、 可燃物。 防止气体泄漏到工作场所空气中。 避免与氧化剂接触。 搬运时轻装 轻卸， 防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。 储存注意事项： 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应 与易 （可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 第八部分：接触控制//个体防护// 职业接触限值 中国 MAC(mg/m3)： 未制定标准 前苏联 MAC(mg/m3)： 未制定标准 TLVTN： 未制定标准 TLVWN： 未制定标准 监测方法： 工程控制： 生产过程密闭，全面通风。 呼吸系统防护：一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半 面罩）。 眼睛防护： 一般不需特殊防护。 身体防护： 穿一般作业工作服。 手防护： 戴一般作业防护手套。 其他防护： 避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 第九部分：理化特性 主要成分： 纯品 外观与性状： 无色无臭气体。 pH： *熔点(℃)： -183.6 *沸点(℃)： -128.0 *相对密度(水=1)： 1.61(-130℃) 相对蒸气密度(空气=1)： 无资料 饱和蒸气压(kPa)：3650(15.0℃) 燃烧热(kJ/mol)： 无意义 *临界温度(℃)： -45.5 *临界压力(MPa)： 3.74 WWW.MIRAGASES.COM TEL:+86-379 FAX:+86-379 湄格气体 辛醇/水分配系数的对数值： 无资料 闪点(℃)： 无意义 引燃温度(℃)： 无意义 爆炸上限%(V/V)： 无意义 爆炸下限%(V/V)： 无意义 溶解性： 不溶于水。 主要用途： 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 其它理化性质： 第十部分：稳定性和反应活性 稳定性： 禁配物：