基于高温超导本征约瑟夫森效应的新型两端恒流器件.docxVIP

基于高温超导本征约瑟夫森效应的新型两 端恒流器件 第27卷第4期低温物理Vol.27,No.4 2005 年 11 月 CHINESEJOURNALOFLOWTEMPERATUREPHYSICSNov.,2005 基于高温超导本征约瑟夫森效应的 新型两端恒流器件 周铁戈阎少林方兰李永冈0 路昕赵新杰何明 南开大学信息技术科学学院，天津300071 我们利用高温超导本征约瑟夫森效应,研制了一种超导薄膜两端恒流器件?恒流器 件是 将牛长在斜切20度LaA103基片上的TI-2212超导薄膜光刻成微桥得到的.对于 6m X 8m 的微桥器件,其最高工作电压可达15V以上,当两端电压在IV?11V之间变化时, 电流棊 本稳定在4.3mA,误差不超过土 5,动态内阻大于1OQ,在最佳工作位置（3V?SV）动 态内 阻可以达到10通过数字模拟，对实际应用中两端恒流器件的rf调制进行了较详 细的分 析，并可使恒定电流上rf调制小于1. 关键词:高温超导，本征约瑟夫森效应，两端恒流器件 PA0C:7450,7475,7430F 1引言 恒流源是电子电路中重要的单元电路之一.它的动态内阻很大，本身的工作电压又 可以 很低，如果使用恒流源作为电路的偏置和负载，则可以提高放大器的单级增益和工 作点的稳 定性.因此，恒流器件在半导体电子电路中具有重要的作用.同理，在未来超导电子 电路屮， 不管是模拟电路还是数字电路,恒流源都可能具有同样的重要作用?到目前为止, 我们尚未 发现利用超导材料制作恒流源的报导?将传统的半导体恒流源应用于超导电子电 路又有一 定困难，其原因首先是由于传统的恒流屯路工作于常温状态,而超导电子电路工作 在低温状 态，难于将它们集成在一起;其次是传统的恒流源电路比较复杂，多是利用多个晶 体管构成， 虽然也有利用单个元件制作的恒流源，但是性能不佳. 我们知道,在超导约瑟夫森结的卜一特性曲线屮存在恒流区域.对于McCumber参 数 为1的约瑟夫森结，当其两端电压较低时，流过结的电流基木是恒定的;对于訓1 的约 瑟夫森结在较低的电压范围内电流也基本恒定，只是电压区间略有变小;对于 lt;l的约瑟 夫森结，也存在恒流的电压区间，只是相对于前两种情况要小的多?因此，我们可以 利用约瑟 夫森结的这个特点来制作恒流器件.对于单一约瑟夫森结，处于恒流状态的电压范 围很小， 根据结的不同类型，从几毫伏到十几毫伏不等?虽然这样小的电压范圉作为恒流器 件没有实 收稿日期:2004?11?05;修回日期:2005—05-10 4期周铁戈等:基于高温超导本征约瑟夫森效应的新型两端恒流器件321 际应用价值,但是如果将成百上千个同样的结串联起来，就可以得到几伏甚至十几 伏电压范 围内的恒流源器件.高温超导体木征约瑟夫森效应的发现，为我们提供了制作出成 百上 千个性能一致的串联约瑟夫森结阵的可能性. 本文报导利用生长在斜切20度的LaAlO.衬底上的T1-2212超导薄膜制作的两 端恒流 器件，以及对器件进行测试的结果. 2实验方法 Tl.Ba.CaCu.Ox(Tl-2212)高温超导薄膜是采用磁控溅射和后退火的方法制备的 13】?衬 底釆用偏离(100)面20?取向LaA103单晶基片.首先，用直流磁控溅射在衬底基片 上淀积出 非晶T1 一 Ba-Ca-Cu—O先驱膜，然后在纯Ai?气氛下，经过740?780°C高温热处理, 使非晶先 驱膜转变为T1—2212超导薄膜.实验证明［41,T1—2212超导薄膜是在I.aA103单 晶基片外延 生长的,T1—2212薄膜的轴平行于IaA103单晶基片的轴，即偏离基片表面法线20.. 超导 薄膜的厚度可以通过溅射速率和时间控制.本实验屮，所有超导薄膜的厚度都是 400nm.Tl一 2212超导薄膜的超导转变温度都大于102K. 我们采用半导体光刻工艺和化学腐蚀方法，沿T1-2212超导薄膜轴倾斜方向制 作出 薄膜微桥，便可以得到高温超导恒流源器件?由于T1-2212超导薄膜是二维结构, 相邻的两 个Cu-0层是超导层，可作为约瑟夫森结的超导电极?两个相邻的超导层便可构 成一个约瑟 夫森结，通常称为本征约瑟夫森结?我们制作的薄膜微桥可以看作是由大量倾斜的 本征约瑟 夫森结组成的串联阵列，串联结的个数由微桥的长度决定?对于一个长为8m的微 桥，含有 约1800个吊联的约瑟夫森结.结的横截面积由薄膜的厚度和微桥的宽度决定.图1 给出了 T1-2212薄膜本征约瑟夫森结串联阵列的结构示意图.图中n代表衬底表面法线 方向的单 位矢量,n代表薄膜c 一轴方向的单位矢量.通过微桥的电流,必定通过串联的毎个 本征约瑟 夫森结.图2为光学显微镜拍摄的微桥照片,微桥宽6m,长8m. 图IT1-2212超导薄膜本征约瑟夫森结串图2微