光学薄膜的特性及其应用-范正修.pdf

光学薄膜的特性及应用 范正修 2009年11月9 日 薄膜科学-光学薄膜与薄膜科学 薄膜是一种重要的材料形态,其基本性质是影响各 类薄膜具体性质的基本要素,其基本技术对各类薄 膜是通用的. 光学薄膜是研究薄膜的光学性质及其在相关领域 内应用的一门学科 光学薄膜作为一类光学元器件是”光学系统”的重 要组成部分 建立大薄膜科学观-把光学薄膜作为薄膜科学的一 个特例来研究.把基本特性/具体特性贯穿起来,融 合起来.个别-一般/一般-个别,协同发展 2 1 薄膜科学-多学科/综合性 薄膜基底材料学物质结构 表面科学 制造/加工 热力学 薄膜材料材料学化学加工物质结构 薄膜设计计算科学数学仿真学 制备技术机械电子光学真空科学化学物理流体力学自动控制计 算机 薄膜生长热力学流体力学分子动力学物理化学 物质结构 表面科学 薄膜测试现代科学 薄膜应用 千变万化 3 薄膜科学-基本特性 低维特性-厚度从亚纳米(原子层)-数十微米,远小 于长度和宽度 通过厚度的调制实现变化无穷的特殊性质 4 2 薄膜科学-一般特性 结构特性 结晶 单晶 多晶 非晶 混晶 雕塑 不完整性 缺陷 空隙 晶界 表面 形貌 面型 微观起伏 麻点/划痕 5 薄膜科学-一般特性 物理性质 致密性/密度 力学性质及参量 机械强度 电学性质 磁学性质 半导体性质 热物性质 6 3 薄膜科学-一般特性 化学性质 化学稳定性 吸附/键合 催化/净化 抗酸/抗碱/水化/水解 分解/化合/偏析 7 薄膜科学-一般特性 薄膜组分 单质/化合物-单元/二元/多元 混合物/合金/ 固融体 杂质/掺杂 有机/无机/复合 金属/非金属/半导体 组分嵌合/结构嵌合 表面组分偏析 8 4 薄膜科学-一般性质 光学性质 折射率/ 消光系数 吸收/散射 激发/发射 辐射/发光 光致转换效应 -光/ 电 光/热 光/声 光/伏 光/生 光调制 电光 声光 磁光 热光 非线性 非线性光学常数 倍频/差频/和频/混频 拉曼散射/布里渊散射 自聚焦 9