激光共聚焦显微镜在材料领域应用初探.pdf

激光共聚焦显微镜在材料领域应用初探 编者：OLYMPUS 夏仲琦（xiazhongqi@online.sh.cn ） 一、前言 作为一种微观形态学工具，光学显微镜在工业测试方面的应用，目前主要大家比较熟悉的主要是以下方面： 首先，单独作为形态学工具，进行材料组织分析和外观缺陷检查，其典型的产品是金相显微镜和立体显微镜。 第二、光栅量测结合，进行部件的精密尺寸测量，其典型的产品是工具显微镜，测量显微镜。 近年来，随着计算机软件技术的发展，显微镜与图象处理系统的结合，产生了定量金相软件、工显测量软件、一般几何 测量软件等等，使其不仅可以定性分析，更能在定量化上发挥重大作用。 但光学显微镜的局限在于，它是一种二维的形态学工具，其极限有效分辨率是0.35 微米，该分辨率下的景深在 1 微米 以下。因此如果要在高倍率下观察表面的三维形态，特别是纵向方向的形态，通常一定需要使用SEM 而不是OM。SEM 是 这一方面非常成熟有效的标准工具，但有些样品使用SEM 会碰到以下困难： 1、 样品本身比较大，且不能做分割的器件组，虽然被观察的部分是微小的局部，但整个样品难以放入SEM 中。 2、 非金属样品，且不适合做导电性处理。特别是一些对微小处理很敏感的样品。 3、 无法测量多种尺寸数据，比如体积，面积，粗糙度等等。 针对这些问题，SEM 厂家在不断推出更新的技术。同时，光学显微镜开发者也在探索如何使光学显微镜成为一种三维 的微观形态学工具。 这方面目前比较有成效的技术，是激光扫描共焦显微镜（CF-LSM ）。 共聚焦激光扫描显微镜的发展在国外，主要为日本。是从80 年代末期开始的，目前在日本，共聚焦激光扫描显微镜已 经是一种被广泛采用的技术，既用来观察样品表面亚微米程度（0.12 微米）的三维形态和形貌，又可以测量多种微小的尺 寸，诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。 另外，它还有以下特点： 1、 使用方便,与一般光学相似,且全部采用计算机直观控制。 2、 基本无须制样,不损伤样品。不需要做导电处理,也容许大尺寸样品直接观察,完全不破坏样品。 3、 几十秒到一两分钟即完成全部的扫描，成像，测量采样工作。 该设备目前已经为吉林大学，哈尔滨工业大学用于材料和机械加工方面的研究。 最近，我们和国内的一些大学，研究所进一步合作，对共聚焦激光扫描显微镜及在材料表面表征领域的应用做了初步的 尝试，以下是简单的总结，希望得到行业内更多专家的指导。 这些小结受拍照人影响较大，所以以下内容全部是个人观点。 二、金属材料 1、 金相组织篇 珠光体片层 马氏体 索氏体 屈氏体 珠光体和铁素体 粒状贝氏体 说明：拍摄显微组织总体感觉效果都很不错，并且拍摄此类试样也最为快速方便，但是高档的可见光显微镜亦可以拍摄出类 似效果的照片。 2 、 合金、不锈钢篇 镍基合金 钛合金 铝合金1 铝合金2 镁合金 高温合金 铝硅合金 碳化钛（硬质合金原料） Cu-Co 合金 合金钢 不锈钢应力腐蚀 高氮不锈钢 说明：拍摄各种合金绝大部分都很理想，但有个别样品反差感觉不太好，例如铝合金。有些样品LEXT 的反差特别好，例如 Cu-Co 合金，用普通光学显微镜和扫描电镜拍出来的照片Cu 的颗粒和Co 的颗粒基本上没有什么反差，全是一个颜色，用 LEXT 拍出来的照片Co 的颗粒是白色的Cu 的颗粒是黑色的。 3、 断口篇