第一章电镜结构介绍.pptVIP

3）显象部分 这部分由观察室和照相机构组成。 在分析电镜中，还有探测器和电子能量分析附件。 如下图所示。 * * 扫描发生仪 显象管 和X-Y 记录仪 数据 处理 放大器 电子束 扫描线圈 入射光阑 电子能量 分析仪 能量选择光阑 探测器 图1-14 扫描电子衍射和电子能谱分析附件示意图 2 . 真空系统 为了保证真在整个通道中只与试样发生相互作用，而 不与空气分子发生碰撞，因此，整个电子通道从电子 枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内，一般真空 度为 毫米汞柱。 3 . 供电系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分， 二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。 所以，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和 各透镜的激磁电流。 近代仪器除了上述电源部分外，尚有自动操作 程序控制系统和数据处理的计算机系统。 * 第二节 主要部件的结构与工作原理 一、样品平移与倾斜装置（样品台） * * * 二、电子束倾斜与平移装置 偏转θ+β角，则电子束相对于原来的方向倾斜了β角，而入射点的位置不变，见b图。利用电子束原位倾斜可以进行所谓的中心暗场成像操作。 * s θ θ 上偏转线圈 下偏转线圈 θ+β θ β 电子束平移和倾斜的原理图 四、光阑 在透射电子显