基于PLC的离子源气体调节控制系统设计 报告人: 周德泰 中国科学院近代物理研究所 报告内容(3部分) 前言 内容 1.总体结构 2.硬件设计 3.软件设计 结语 一、前言 离子源系统产生需要加速的带电粒子。 主要包括:离子源(IS)、微波组件、气体管理系统(Gas Handling System)和离子源引出系统等。 气体管理系统:气体流量调节器,精密针阀等,该装置固定在气体集合管装置里。 进入离子源气体的流量影响束流的强度,因此,正常时气体流量设置在一个固定值。提高气体利用率,可节省被电离气体的消耗量,气体利用率低,则会影响加速器的真空度。离子源气体的分子结构是影响电离效率、离子束的发散度和离子源阴极使用寿命等的重要因素。 气体控制系统的作用是选择离子源气体种类并使气体保持稳定的流量。 一、前言 在工业控制中,可编程控制器(PLC)由于控制灵活、可靠性高、抗干扰能力强、体积小、使用方便等优点而得到了广泛的应用,己经成为现代工业控制的主要技术平台之一。 为了实现对离子源气体的精确控制,采用三菱公司的FX3u可编程控制器作为核心,控制两台伺服电机,实现高精度控制。其中一台伺服电机实现工作气体调节,另一台伺服电机完成支撑气体调节。 人机交互界面:采用VC设计,能够有效的监控设备的运行状况、显示电机当前位置以及修改系统参数。 二、内容 (一)总体结构
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