SE测量原理介及操作介绍课件.ppt

? 2014 天马微电子股份有限公司. All rights reserved * Xiamen Tianma Microelectronics SE测量原理与操作介绍 内容提要 1、SE原理介绍 2、SE测量机台简介与软件使用 3、总结 内容提要 1、SE原理介绍 2、SE 测量机台简介与软件使用 3、总结 全称：Spectroscopic ellipsometry的缩写，偏振光波通过介质时与介质发生相互作用,这种相互作用将改变光波的偏振态,测出这种偏振态的变化,进而进行分析拟合,得出我们想要的信息。 SE原理介绍 偏振光分类 线偏光 Z Z 椭圆偏振光 圆偏振光 部分偏振光：垂直于光传播 方向的平面内沿各个方向振动 光矢量都有，但振幅不对称。 偏光片与偏振光 偏振光 线偏光 线偏振片 偏振光 圆偏振光 1/4 波片 P偏振与S偏振 SE光学系统内部图 结构：光源（自然光）--起偏器--1/4玻片--样品--检偏器--探测器 氙 灯 令线偏振光垂直射向菲涅耳组合棱镜,由于 线偏振光可分解为振幅相等、频率相同的左、右旋圆偏振光, 这两束圆偏振光在左、右旋石英晶体中有不同的传播速度,故 射出菲涅耳组合棱镜的光将是两束(左旋和右旋)圆偏振光. s s φ1 k0 k1 k2 k3 φ2 φ3 d n1 n2 n3 界面1 界面2 自然光 。 。 P P 自然光在单层介质膜表面的反射与折射 SE测量原理介绍 当一束光入射到单层介质膜面上时，在界面1和2上形成多次反射和折射，且各反射光和折射光分别产生多光束干涉。其干涉结果反映了薄膜的光学特性。 根据电磁场的麦克斯韦方程和边界条件及菲涅尔反射系数公式，可以导出： SE的测量原理 式中，r1p、r2p为界面1、2处反射光p分量的振幅反射系数，r1s、r2s为界面1、2处s分量的振幅反射系数 ，2δ系指薄膜表面的相继两束反射光因光程差而引起的位相差，它满足： 式中， 分别为光在薄膜上、下表面的入射角。 于是得到如下椭偏方程： 式中，ψ和Δ称为椭偏参数并具有角度量值，是n1、n2、n3、 、λ及d的函数，由于n1、n3、 和λ为已知量，只要利用实验测出ψ和Δ，并利用计算机作数值计算，即可得到薄膜折射率n2和厚度d 测量时，利用电机分别带动检偏器和起偏器转动（扫描）找到处于消光状态时的检偏角A和起偏角P，根据下式计算椭偏参数Ψ、Δ： SE的测量原理 需要说明的是,上述测得的薄膜厚度d为一个周期 内的值，由 知薄膜厚度的周期d0为： 若实际膜厚大于d0，设此时所对应的周期数为j，则实际膜厚为： D＝（j－1） d0+d SE的测量原理 内容提要 1、SE原理介绍 2、SE 测量机台简介与软件使用 3、总结 1、总电源 2、UPS 3、控制面板 4、电脑 1 4 3 2 长按on按钮3s Xe灯同时开启 SE 测量机台概况 SE 测试软件的使用 1、软件测量流程 2、Recipe的建立 3、测量数据说明 软件测量流程 开机 测量 关机 结束 检查机台 异常 N 修复 Y 加紧卡匣 编辑lot信息 选择recipe 测量 点位条件 解析条件 准备阶段 软件操作过程 Recipe 的建立 解析条件 点位条件 Recipe的选择 online操作recipe一定要保存在02-online选项中 测量步骤 点击control state ，将状态由REMOTE状态切换成 OFFLINE状态。 测量步骤 选择需要测量的玻璃的SLOT号，并且选择测量的recipe，输入LotID(日期)，product cate (TFT),填写OPID，LSORTTYPE, thickness (0.5t), 此时可点击OK 测量数据展示 从测量数据中，我们得出玻璃信息，测量时采用的recipe ID,测量点位，膜厚以及折射率，更重要的是U%，通过分析U%可以得出膜厚的均一性是否符合要求。 总结 大致了解SE机台的测量原理（有兴趣可以尝试公式的推理）； 掌握SE进行膜厚测试时确定膜厚的测量点位和测量方法，进行recipe的编写； 掌握SE机台的测量方法，若采用manual进行测量，需要进行rechuck夹紧卡夹才能显示玻璃数据，要填写好玻璃信息，选对recipe ID； 对测量数据进行简要分析得出膜厚的均一性。 使一束自然光（非偏振激光）经起偏器变成线偏振