线性测量步骤完整课件.ppt

影响线性测量精度的因素 不正确的波长补偿 不正确的材料热膨胀补偿 不正确的气温传感器定位 材料死程误差 不正确的材料传感器定位 死程误差 余弦误差 阿贝 (Abbé) 偏置误差 局部性热源 光学镜组定位不正确其他可能影响线性测量精度的因素是： 光学镜组未安装牢固 死程误差 死程误差是在处于基准位置的光学镜组之间具有较大间隔情况下出现的与线性测量期间发生的环境变化有关的一种误差。在正常情况下，死程误差很小并且仅在清零后和测量期间发生环境变化时出现。 如果干涉镜与反射镜之间没有移动，并且激光光束的环境条件发生变化，则波长（在空气中）将在整个光路 (LI + L2) 上发生变化，但是激光测量系统仅在L2距离上得到补偿。因此，将会因为光束路径L1未得到补偿而引起死程测量误差。 但是，如果在清零时固定光学镜组和移动光学镜组彼此相接，则死程误差可以忽略不计，如图2所示： 尽可能在光学镜组彼此靠近时将激光清零。如果激光清零时光学组件之间的距离在10 mm之内，那么在正常条件下死程误差很小。其中，机器几何参数表示当移动光学镜组位于轴的零位时，两个光学镜组之间的距离最远，可以使用预设功能，避免因激光干涉仪系统清零而可能在该点上产生的死程误差。  余弦误差 激光光束路径与运动轴之间的准直偏差将导致测量距离与实际移动距离之间存在差异，如图1所示。 当激光测量系统与运动轴之间存在