LOGO 6-5 半导体激光器 半导体激光器的发明 半导体物理学的迅速发展及随之而来的晶体管的发明,使科学家们早在50年代就设想发明半导体激光器,60年代早期,很多小组竞相进行这方面的研究。在理论分析方面,以莫斯科列别捷夫物理研究所的尼古拉-巴索夫的工作最为杰出。 在1962年7月召开的固体器件研究国际会议上,美国麻省理工学院林肯实验室的两名学者克耶斯(Keyes)和奎斯特(Quist)报告了砷化镓材料的光发射现象,这引起通用电气研究实验室工程师哈尔(Hall)的极大兴趣,在会后回家的火车上他写下了有关数据。回到家后,哈尔立即制定了研制半导体激光器的计划,并与其他研究人员一道,经数周奋斗,他们的计划获得成功。 半导体激光器的历史 1962年,hall发明了同质激光器(两端面垂直抛光制 成反射镜构成谐振腔)。 1963年,邦德(Bond)报道了利用自然解理面作为 反射镜的同质激光器。 1963年,Kroemor提出异质结激光器的设计理论。 1967年,伍德尔(Woodall)利用液相外延技术在GaAs 上生长了宽带系的AlxGa1-xAs层。 1967-1969年,Hayashi和Panishi先后研制出了单异质 结激光器和双异质结激光器。 1970年,Alforow也报道了其研制出的DH激光器实
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