非电量测量-讲义01-电阻式.ppt

梁式力传感器 扭矩传感器 应变式加速度传感器 总结: 非电量?电量转化途径及传递系数 传感器灵敏度 （1+2μ） λE 应变效应（金属） 压阻效应（半导体） 非电量 应变 电阻相对变化量 电压 放大后的输出电压 Vi/4 Vi/2 Vi/1 单臂电桥 差动半桥 差动全桥 放大电路 习题 什么是应变效应？ 什么是压阻效应？ 为什么要使用非线性电位器式传感器？ 为什么差动电桥要比单臂电桥的灵敏度高并且非线性误差小？ 思考题 本章所涉及的电阻式传感器哪些是结构型，哪些是物性型传感器？ 探讨物性型压力、温度、磁场、光照度电阻式传感器的设计？（材料选择） 声（压）光电热磁五大物理现象所涉及的物理效应 探讨压力（变形）、温度、磁场、光对材料电阻率的影响。寻找电阻率对压力、温度、磁场、光频率和通量敏感的材料。 力学、热学、电学、磁学、光学（电磁学） 压阻效应 “热阻效应” 磁阻效应 “光阻效应” 内光电效应 思考题 3. 应变式热（温度）、磁、电、光传感器设计的思考？ 利用热致伸缩效应、磁致伸缩效应、电致伸缩效应、光致伸缩效应 应变效应即“力致使伸缩效应” 什么情况下要用到非线性型电位器式传感器呢？如果需要用电位器式传感器设计一种测量温度的传感器，而基本类型的电位器式传感器是一种位移型传感器，这样就需要一种转换元件，一种能将温度转换为位移的转换元件（如双金属片）。而选择的这种转换元件的输入输入关系是非线性的，例如上述的温度Tx-位移x型转换元件的Tx∝x2，如果采用特性为Rx∝x2的非线性型电位器传感器，则Tx∝Rx，这样的电位器式温度传感器的输入（温度）与输出（电阻）特性简单化（线性化）了。 如果转换元件的输入输出关系Tx∝x3，那么应该设计另外一种形状的骨架，使Rx∝x3。 什么情况下要用到非线性型电位器式传感器呢？如果需要用电位器式传感器设计一种测量温度的传感器，而基本类型的电位器式传感器是一种位移型传感器，这样就需要一种转换元件，一种能将温度转换为位移的转换元件（如双金属片）。而选择的这种转换元件的输入输入关系是非线性的，例如上述的温度Tx-位移x型转换元件的Tx∝x2，如果采用特性为Rx∝x2的非线性型电位器传感器，则Tx∝Rx，这样的电位器式温度传感器的输入（温度）与输出（电阻）特性简单化（线性化）了。 如果转换元件的输入输出关系Tx∝x3，那么应该设计另外一种形状的骨架，使Rx∝x3。 伺服系统是用来精确地跟随或复现某个过程的反馈控制系统。又称随动系统。在很多情况下，伺服系统专指被控制量（系统的输出量）是机械位移或位移速度、加速度的反馈控制系统， 其作用是使输出的机械位移（或转角）准确地跟踪输入的位移（或转角）。 当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异，因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计（见电阻应变计），前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化（应变），而且前者的灵敏度比后者大50～100倍。 压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。在航天和航空工业中压力是一个关键参数,对静态和动态压力,局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布，测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中，使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中，压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。单个传感器直径仅2.36毫米，固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是理想的检测工具。已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。此外，在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展，压阻式传感器的应用还将迅速发展。 V 绕线式：阶跃输出，分辨率低，磨损 电位器传感器结构变化 V 膜式和导电塑料：磨损 电位器传感器结构变化 V 光电