合理的半高宽FWHM.ppt

FWHM的合理取值范围 单色化X射线XPS的高分辨谱中，各元素主峰FWHM在 0.3 eV 到 1.7 eV。 纯金属的金属主峰 (e.g. 1s, 2p3, 3d5, 4f7) FWHM在 0.30 eV to 1.0 eV间变化； 二元金属氧化物的金属主峰 (e.g. 1s, 2p3, 3d5, 4f7) FWHM从0.9 eV 到 1.7 eV； 二元金属氧化物的氧峰O (1s)的 FWHM一般在1.0 eV 到 1.4 eV ； 外来碳氢化合物的C (1s)峰的 FWHM一般在 1.0 eV到1.4 eV间。 聚合物C 1s拟合例 过渡金属Pd 3d拟合例 过渡金属Ru 3d拟合 W4f Peak Fitting 9.3.3、不对称性峰参数的影响 对于简单不对称峰型谱可引入拖尾函数来拟合 Y=H[GL+(1-GL)*T] 拖尾函数 T=TM*CTH+(1-TM)Exp(-DX*ET) 其中：CTH=常数尾高比(1=尾高与峰高相等)；TM=尾混合比(0=指数尾，1=常数尾)；ET=指数尾比 (1=无拖尾，典型值: 0.03~0.1); DX =离开峰中心的距离。 Pt 4f Peak Fitting 金属Pt峰有不对称拖尾，而Pt氧化物峰形较对称 Pt4f Asymmetry of Fe ? 2007 XPS International LLC Asymmetry of Fe2O3 ? 2007 XPS International LLC Asymmetry of Co ? 2007 XPS International LLC Asymmetry of CoO ? 2007 XPS International LLC Asymmetry of Ni ? 2007 XPS International LLC Asymmetry of NiO ? 2007 XPS International LLC 9.4、数值方法 非线性和线性最小二乘法拟合，目标因子分析可应用于包括深度剖析、线扫描和图象在内的多轴数据。 这些拟合方法使得元素或化学物种的重叠得以分离。 9.4.1、目标因子分析(TFA) 当数据中包含有多维谱时 (深度剖析、线扫描、角分辨XPS等)，通常适合于组合使用目标因子分析 (TFA)和最小二乘法拟合。用这种方法，谱中细微的差别可用于测定数据集中不同化学态变化的情形。 某些纯金属峰并非是简单的高斯-洛仑兹峰型，而是难以拟合的不对称峰型。 TFA假定剖析数据由共同的谱元的线性组合构成。TFA仅能确定谱元的数目但并不能鉴别它们。 元谱可由TFA定义。比如SiO2/Si的深度剖析，氧化硅的参考谱取自氧化物层中，而元素硅的参考谱取自溅射后衬底中的某一级谱。 （1）原理方法（Procedure） TFA选取出剖析中最有意义的层次（level），剖析数据中的每个层次都用这些元谱的线性或非线性组合来进行拟合。 然后计算每个层次的吻合度，并与用户定义的信噪比限值比较。若此一计算值大于定义的信噪比限值，就认为拟合是满意的。 若任一层次不能满意地拟合，则该层次增添作为元谱，然后每一层次都以此两谱来进行拟合。继续这一过程来增添额外的元谱直到所有层次都拟合到比信噪比限值更好时为止。必需的谱数即为剖析中有意义的元谱数。注意作为元谱的这些谱可能实际上不包含纯参考谱，因而其强度剖析可能会是负值。每个层次元谱的线性组合产生表观剖析谱。 当TFA确定了主元后，它自动用这些元谱执行数据的线性最小二乘法拟合。 （2）TFA分析方法 TFA分析 TFA分析 9.4.2、非线性最小二乘法拟合 (NLLSF) 在许多方面NLLSF谱峰拟合与TFA的扩充。优点是真实峰型可应用于数据集中。TFA仅支持真实峰型的线性组合，所以分析中移动的峰就不能精确测定。 在某些实验中，数据中存在有能量位移。在这种情况下可以使用NLLSF，因此荷电位移峰并不作为不同的化学态来处理。 NLLSF假定剖析数据由共同的元谱的线性组合构成但其峰位在深度剖析中可以变化（如荷电造成）。 NLLSF对话框 点击 打开NLLSF对话框 （1）定义参考元谱 参考元谱可从不同的来源获取 参考元谱位于多级数据集中： 最简单的方法是使用来自于多级数据集中的参考谱。这类似于TFA中的情形。 参考元谱来自于标准数据： 如果存在纯组分谱，即可定义其为参考元谱 使用此法时应注意，数据采集参数（通能等）应相同，以保证好的拟合结果。 参考元谱来自于生成的数据 可以使用由谱峰拟合得到的合成谱 组合参考元谱 NLLSF程序运行中显示的典型屏幕 （2）价带谱的NLLSF拟合 混合价态Ce3d的NLLSF拟合 思考题 常用样品表面荷电效应的校正方法有哪些？如何进行校正？ 在进行谱峰拟合处理时应注意和考虑哪些因素