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超精密加工机床及其新技术发展 研机制12 程学亮 s1203006） 摘要：介绍了超精密加工技术以及超精密加工机床的主轴、直线导轨、进给与微量进给系统、减振与恒温控制等关键部件及其相关技术。介绍了国内外超精密机床的发展现状，并对我国超精密机床的研发提出了几点建议。 关键字：超精密加工机床；精密主轴；直线导轨；微量进给；减振 1 引言 超精密加工目前尚无统一的定义, 在不同历史时期、不同的科学技术发展水平的情况下, 有不同的理解。通常我们认为被加工零件的尺寸精度和形位精度达到零点几微M, 表面粗糙度优于百分之几微M的加工技术为超精密加工技术。目前超精密加工的方法主要有以下几种：( 1 超精密切削加工, 主要是利用金刚石刀具对工件进行车削和铣削。 (2 超精密磨削, 主要加工对象是玻璃、陶瓷等硬脆材料。 (3 超精密研磨加工, 利用特殊磨料可研抛出极高质量的表面。 ( 4 超精密特种加工, 是利用声、光、电、磁等能源的非传统加工方法。 (5 复合加工, 综合采用几种不同的加工方法。 超精密加工技术是以高精度为目标的技术, 它必须在综合应用各种新技术, 在各个方面精益求精的条件下, 才有可能突破常规技术达不到的精度界限, 达到新的高精度指标。实现超精加工的主要条件应包括以下诸方面的高新技术: (1 超精密加工机床与装、夹具。 (2 超精密切削刀具, 刀具材料, 刀具刃磨 技术。 (3 超精密加工工艺。 (4 超精密加工环境控制(包括恒温、隔振、洁净控制等 。 (5 超精密加工的测控技术。 超精密机床是实现超精密加工的首要基础条件，随着加工精度要求的提高精密加工技术的发展，超精密机床亦获得了迅速的发展。 美国是开展超精密加工技术研究最早的国家，也是迄今处于世界领先地位的国家。早在20 世纪50 年代末，因为航天等尖端技术发展的需要，美国首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术称为S P D TSinglePoint Diamond Turning）技术，并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面非球面大型零件等。 美国Union Carbide 公司于1972 年研制成功了R -θ方式的非球面创成加工机床。这是一台具有位置反馈功能的双坐标数控车床，可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R ，实现非球面的镜面加工。Moore公司于1980 年首先开发出了用3 个坐标控制的M -18A G 非球面加工机床，这种机床可加工直径为356m m 的各种非球面金属反射镜。英国Cranfield 大学精密项目研究所( C U P E 研制的大型超精密金刚石镜面切削机床，可以加工大型X射线天体望远镜用的非球面反射镜( 最大直径可达1400m m，最大长度为600mm 的圆锥镜。 20 世纪80 年代，美国UnionCaride公司、Moore公司和美国空军兵器研究所制定了一个以形状精度为0.1μm、直径为800m m 的大型球面光学零件超精密加工为目标的超精密机床研究计划——POMA ( Point One MicrometerAccuracy 计划，这是一个里程碑式的研究计 美国LLNL 实验室开发了一系列超精密实验研究型机床, 1984年研制成功的大型光学金刚石车床LODTM 是迄今为止精度最高的大型超精密机床。该机床可加工直径为2.1m、重4.5t的工件。采用高压液体静压导轨在1. 07m ×1. 12m 范围内直线度误差小于0.025Lm (在每个溜板上装有标准平尺,通过测量和修正来达到 , 位移误差不超过0.013 Lm (用氦屏蔽光路的激光干涉仪来测量和反馈控制达到。主轴溜板运动偏摆小于0.001rad?s (通过两路激光干涉仪测量, 压电陶瓷修正来实现。激光测量系统有单独的花岗岩支架系统不与机床联接, 油喷淋冷却系统可将油温控制在20±0. 0025 ℃。采用摩擦驱动, 推力可达300 磅(136 kg , 运动分辨率达0. 005 Lm。是超精密加工设备的典型代表。 2 超精密机床的关键单元及其新技术与新发展 2.1 精密主轴部件 精密主轴部件是超精密机床保证加工精度的核心。主轴要求达到极高的回转精度，转动平稳，无振动，其关键在于所用的精密轴承。早期的精密主轴主要采用超精密级的滚动轴承，例如瑞士的Schaublin，美国的Hardinge 等精密机床，主轴用特制的超精密轴承，整台机床制造精度很高，因此，机床加工精度可以达到1um，加工表面粗糙度达0.04-0.02um。 制造如此高精度的滚动轴承主轴是极为不易的，成本也非常高。 随之研发了液体静压轴承主轴，此轴承回转精度很高0.1um ），转动平稳，无振动，因此部分超精密机床主轴采用这种轴承。虽然液体静压轴承有较高的刚度和回转精度，但也有以下