生物传感器的微悬臂梁换能技术进展汇报.pptVIP

生物传感器的微悬臂梁换能技术研究项目验收报告;汇报提纲;1、基本信息;2、微悬臂梁简介; Tip Parameters Full tip cone angle;The active probe;Microcantilevers with piezoresisitors;;Sensors and actuators are the fundamental and most important elements for MEMS and nanotechnology progress. The microcantilever provides us a unique tool for sensing ultra-small forces in the microscopical world. Microcantilevers are used as springs in microworld. ;;Detection of single electron;Electron spin detection;AFM anodic oxidation;Mirkin Group, Northwestern University, chem.northwestern.edu/~mkngrp/dpn.htm;AFM data storage;AFM manipulation of nanotubes;Biological sensing manipulation(1);Biological sensing manipulation(2);Microcantilevers for MEMS (1);Microcantilevers for MEMS (2 );T. Mishra, Indian Institute of Technology, Kanpur, India M. Carrozza, A. Eisinberg, A. Menciassi, et al., Scuola Superiore Sant’Anna - MiTech Lab, Italy Euglena (Kim et al. JMEMS, 92);memspi/ ;Microcantilevers for grippers (3);Piezoelectric nanogenerators based on Zinc Oxide Nanowire Arrays;3、微梁作为生物传感器换能元件的优势;4、工作总结报告;4.1 研究目标、预期成果及提供形式 ;4.2 课题执行情况与评价;建立微悬臂梁弹性常数的实时标定方法； 在认识微悬臂梁在液体中的基本工作机理的基础上，提出了一种快速、实时测定微悬臂梁弹性常数的基本方法。根据微悬臂梁弹性常数与液体粘度的基本关系，通过测量微悬臂梁在两种不同粘度的液体中的谐振频率，可以间接测量微悬臂梁的弹性常数。实验证明，这种方法的精度优于5％。;开发出微悬臂梁的品质因数Q控制电路； 在理论和实验研究微悬臂梁的受激振动机理和品质因数调控理论和方法的基础上，设计开发了基于模拟技术的微悬臂梁品质因数调控电路。它主要包括两个模块，一个正反馈模块和一个锁相环模块。正反馈模块用于增加微悬臂梁的品质因数；锁相环模块跟踪微悬臂梁的振幅、频率和相位，并通过一个可变移相器和一个可变增益放大器控制微悬臂梁振动的品质因数Q。 ;设计并优化该类生物传感器的结构模型，研制微悬臂梁生物传感器原型机一台。开发了微悬臂梁生物传感器的探头、驱动电路、信号放大和采集电路以及基于个人计算机的控制和显示系统。 实际达到的技术指标： 检测极限（灵敏度）：10pg 频率分辨力： 0.5Hz(0~60kHz范围) 质量分辨力： 10pg;4.3 成果推广应用前景的评价;4.4 经费决算和经费使用评价;4.5 人才培养、合作、论文和专利 ;4.6 存在的问题 ;5、技术总结报告;5. 1 微悬臂梁动态检测方法的建立;微悬臂梁的谐振频率 质量变化与频率偏移的关系;5.2 微梁弹性常数的实时标定方法;5.3 微悬臂梁生物传感系统的开发 ;5.3 各部分的总体描述;5.4 探头和控制器;5.5 软件流程图和人机界面;5.6 品质因数Q的理论研究;Q的控制方法;基于DSP的品质因数调控模块;5.7 主要实验结果;5.7.2 压电陶瓷的振动测试;5.7.3 微悬臂梁的振动特性测试;（左）谐振频率下的速度/时间曲线 ；(右) 幅频曲线 压电探针MPA-41200-10 ;5.7.4 不同激励方法下微梁的振动实验;5.7.5 品质因数调控模块的测试;Q控制电路用于液体中的AF