相位检测法定镜自适应校正技术.pdf

第 11 卷 　第 5 期 光学 精密工程 Vol . 11 　No . 5 　　Oct . 2003 2003 年 10 月 　　 　　 　　　　　　Optics and Precision Engineering 　　　　 　 ( ) 文章编号 　1004924X 2003 相位检测法定镜自适应校正技术 于立民 ,代作晓 ,王模昌,施志华 ( 中国科学院 上海技术物理研究所 ,上海 200083) 摘要 :为保持傅里叶变换光谱仪在动镜运动和外界震动等恶劣条件下动镜和定镜间的准直性 ,采用了相位检测法检测准 直性误差的定镜自适应校正技术 。介绍了相位检测法的基本原理和实现自适应校正