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北京大学政学者论文集（2002年） 纳米加工及纳米碳管物性分析 PAGE PAGE 348 纳米加工及准一维纳米材料碳管的纳米加工及物性分析 The nanoprocessing nanofabrication and electrical property measurements of the 1-dcarbon NANOSTRUCTURESnanotubes 北京大学 物理学院物理系 四年级99级 王莹 摘要 本文首先介绍了北京大学最新引进的聚焦粒子束离子束纳米工作站系统(FIB)和、台湾清华大学的电子束曝光系统(E-beam Lithography)，并阐述了其结构、工作原理,，以及操作使用方法。文章着重总结了在“君政基金”实习期间, ，作者利用上述设备，在单根纳米碳管、纳米线纳米加工与性质研究方面取得获得的结果。 Abstract In this articlepaper, we first make a brief review introduction of to the str