莫尔条纹的形成原理及特点四.ppt

2、光栅的外形及结构 4、光栅副：指示光栅＋主光栅 安装有直线光栅的数控机床加工实况 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 辨向电路 * * 河 南 工 业 职 业 技 术 学 院 电 气 工 程 系 第五讲 光栅传感器 一、光栅的种类和结构 二、光栅传感器的构成 三、莫尔条纹的形成原理及特点四、莫尔条纹测量位移 五、细分技术 六、辨向技术 光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种脉冲输出数字式传感器，它广泛应用于数控机床等闭环系统的线位移和角位移的自动检测以及精密测量方面，测量精度可达几微米。只要能够转换成位移的物理量，如速度、加速度、振动、变形等，均可测量。 一、光栅的类型和结构 光栅 透射式光栅 反射式光栅 通常是由在表面上按一定间隔制成透光和不透光的条纹的玻璃构成 在金属光洁的表面上按一定间隔制成全反射和漫反射的条纹。 光栅 长光栅 圆光栅 测量线位移的光栅为矩形并随被测长度增加而加长 测量角位移的光栅为圆形 1、光栅的类型 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 （与移动部件固定） 扫描头安装孔 可移动电缆 防尘保护罩的内部为长磁栅 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 长光栅 圆光栅 通常a=b；光栅的精度越高，栅距