电阻真空计企业标准.docVIP

Q/HRG0001S-2014 Q/HRG0001S-2014 I Q/HRG 合肥华瑞真空科技有限公司企业标准 Q/HRG 0001S-2014 电阻真空计 技术条件 Specifications of resistance vacuum gauge 2014-05-10发布 2014-09-01实施 合肥华瑞真空科技有限公司 发布 PAGE IV 前 言 根据JB/T 10074—2004《中华人民共和国机械行业标准》制定本标准，以及国内主要电阻真空计生产厂家提出的技术要求而制定。 本标准严格按照GB/T1.1《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写。 本标准由合肥华瑞真空科技有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：郭毓、黄友领、李苹平。 本标准自发布之日起有效期限3年，到期复审。 生产单位：名称：合肥华瑞真空科技有限公司。 地址：安徽省合肥市蜀山区黄山路602号。 PAGE PAGE II PAGE PAGE III Q/HRG0001S-2014 PAGE PAGE I 电阻真空计 技术条件 1 范围 本标准规定了电阻真空计（以下简称真空计）的技术要求、试验方法、检验规则等内容。该真空计由电阻真空计规管和电阻真空计电路组成。 本标准适用于压强测量范围：105~10-2的真空计。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 （GB/T 191—2000，eqv ISO 780:1997） GB/T 4982 夹紧型真空快卸法兰 （GB/T 4982—1985， idt ISO 2861-1: 1974） GB/T 6587.2 电子测量仪器 温度试验 GB/T 6587.2 电子测量仪器 湿度试验 GB/T 13306 标牌 JB/T 9329 仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法 JB/T 10074 中华人民共和国机械行业标准 JJF 1050 工作用热传导真空计校准规范 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 电阻真空计 resistance vacuum gauge 利用加热中的热丝电阻随压强而变化的一种热导真空计。 3.2 真空计规管 vacuum gauge tube 为电阻真空计的一部分，含有热丝电阻随温度变化的敏感元件并直接与真空系统连接。 3.3 真空计电路 vacuum gauge circuit 为真空计的一部分，它由真空计控制单元和真空计指示单元组成。 4 技术要求 4.1 规管的技术要求 4.1.1 规管在下述环境条件下应能正常工作： a）环境温度：-5℃~40℃； b）相对湿度：不大于80％（23℃~25℃时）。 4.1.2 外观：规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。 4.1.3 电阻值：规管热丝电阻冷态电阻值的零散不应超过±1.5％。 4.1.4 规管与真空系统连接部分应满足下列要求： 4.1.4.1 规管连接部分为圆型轨道时，管道的外径应为15mm±0.5mm； 4.1.4.2 规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时，其技术要求应符合GB/T 4982的规定。 4.1.5 密封性：规管对氦气的漏率应不大于10-9 Pa.m3/s。 4.1.6 规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不得小于12。 4.1.7 在环境温度为23℃±3℃下，规管校准曲线在测量范围0.5Pa～2500Pa时，与标准曲线的偏差平均值不得超过±20％。 4.2 真空计电路的技术要求 4.2.1 真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作： a）环境温度：-5℃～40℃； b）相对湿度：不大于80%（23℃~25℃时）； c）电源电压：220V±22V，频率50Hz±0.5Hz。 4.2.2 真空计外观： a）真空计机箱外壳及表面处理良好，标志的文字符号均应清晰； b）真空计的显示器应无引起测量误差的外观缺陷。如模拟式电表不应有机械零件失调、指针弯曲和卡针等现象；数字式显示器应无缺段、缺字等现象； c）真空计的开关、按钮、指示灯等均应齐全、完好，所有紧固件不得松动脱落。 4.3 真空计整机技术要求 4.3.1 规管和电路匹配使用时，仪器预热半小时经调整后，1h内，在电源电压为2